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ST0895 Blanco para sputtering de cobalto, hierro y boro, Co/Fe/B

Catálogo No. ST0895
Composición Aleación Co-Fe-B (Co:Fe:B = 40:40:20 at% estándar; otras proporciones disponibles)
Pureza ≥99% (99,9% / 99,95% disponible)
Forma Discos, o a medida
Sinónimos Cátodos para sputtering de cobalto hierro boro, cátodos CoFeB, cátodos de aleación CoFeB, cátodos magnéticos para sputtering

Cátodos para sputtering de cobalto, hierro y boro (CoFeB) de Stanford Advanced Materials. El CoFeB es una aleación magnética blanda ampliamente utilizada para la fabricación de uniones magnéticas en túnel (MTJ) en STT-MRAM, sensores magnéticos y dispositivos espintrónicos. Composición estándar: Co:Fe:B = 40:40:20 at% (punto de fusión ~1250°C, densidad ~8,8 g/cm^3). Otras proporciones disponibles (60:20:20, 20:60:20, etc.). Discos estándar de 2" a 6", o tamaños personalizados. Adhesivo de indio disponible.

Productos relacionados: Cátodos para sputtering de cobalto (Co) | Cátodos para sputtering de hierro (Fe) | Cátodos para sputtering de boro (B) | Cátodos para sputtering de óxido de magnesio (MgO)

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Composición
Aleación Co-Fe-B (Co:Fe:B = 40:40:20 at% estándar; otras proporciones disponibles)
Pureza
≥99% (99,9% / 99,95% disponible)
Forma
Discos, o a medida
Sinónimos
Cátodos para sputtering de cobalto hierro boro, cátodos CoFeB, cátodos de aleación CoFeB, cátodos magnéticos para sputtering
 
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Material
R4251 (Nb-1Zr) R4261 (Nb-1Zr)
Acabado superficial
Pulido
Dimensiones
Blancos circulares Diámetro 10-400 mm Grosor 2-28 mm
Pureza
99.9% 99.95% 99.99%
 
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Material
90% In2O3+10% SnO2 / 95% In2O3+5% SnO2
Pureza
>=99.99%
Densidad
7,1 g/cm3
 
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Pureza
Pd 0.5%,1%,5%,10%,15%,20%
Número CAS
7440-05-3
Fórmula química
Pd/C
Apariencia
Black Powder

FAQ

Sellado al vacío para evitar la oxidación. Envasado personalizado disponible para pedidos al por mayor.

Co:Fe:B = 40:40:20 at% es la composición más común para dispositivos STT-MRAM y MTJ. Esta proporción proporciona una polarización de espín óptima, una amortiguación baja y una TMR alta tras el recocido. Otras proporciones (60:20:20, 20:60:20) están disponibles para aplicaciones específicas.

¿Por qué se utiliza CoFeB en la MRAM?

El CoFeB ofrece tres propiedades clave: alta polarización de espín (~70%) para una TMR elevada, baja amortiguación magnética para una conmutación rápida y una estructura amorfa según deposición que permite una interfaz de barrera de túnel de MgO de alta calidad tras el recocido.

¿Es necesario recocer las películas de CoFeB después de la deposición?

Sí, normalmente se requiere un recocido a 300-400°C para cristalizar el CoFeB y conseguir una TMR alta. El B se segrega en la interfase MgO, lo que mejora el filtrado de espín.

El CoFeB también se segrega en la interfase MgO.

¿Qué método de sputtering debo utilizar?

El CoFeB es conductor, por lo que el sputtering DC funciona bien. Para procesos reactivos o para minimizar la formación de arcos, también se puede utilizar CC o RF pulsada.

¿Necesitan adhesión los objetivos CoFeB?

Sí, se recomienda la unión. La aleación CoFeB puede ser frágil dependiendo de la composición, y la unión a una placa de soporte de cobre mejora la gestión térmica y evita el agrietamiento.

¿Es magnético el blanco CoFeB?

Sí, el CoFeB es ferromagnético. Manipular con cuidado cerca de equipos sensibles. El blanco en sí es magnético, pero se puede pulverizar en sistemas de magnetrón estándar.

¿Qué pureza necesito para las aplicaciones MRAM?

99,9% (3N) es típico para la mayoría de las investigaciones de MRAM y MTJ. El 99,95% (3N5) se recomienda para la producción y aplicaciones avanzadas en las que trazas de impurezas pueden afectar al rendimiento del dispositivo.

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