ST0209 Blanco para sputtering de nitruro de boro (BN)

Descripción del cátodo de nitruro de boro (BN) para sputtering

Nuestros cátodos para sputtering de nitruro de boro (BN) se fabrican mediante sinterizado en caliente seguido de un mecanizado de precisión para conseguir una alta densidad (>1,9 g/cm³) y una estructura de grano fino y uniforme. Este método de fabricación es fundamental para el BN debido a su estructura cristalina hexagonal anisotrópica; una densificación y un control de la orientación del grano adecuados minimizan la generación de partículas durante el sputtering y garantizan una erosión uniforme en toda la superficie del cátodo.

El nitruro de boro ofrece una combinación distintiva de propiedades -alta conductividad térmica (~30 W/m-K), excelente aislamiento eléctrico y excepcional estabilidad térmica (sublima a ~2.973 °C)- que lo convierten en el material preferido para aplicaciones exigentes de capa fina. Todos los cátodos de BN son adecuados para sistemas de sputtering RF y RF-Reactivos, proporcionando propiedades de película repetibles para capas aislantes, capas tampón y revestimientos protectores.

Todos los cátodos se limpian y se sellan al vacío antes del envío para evitar la contaminación y mantener la integridad de la superficie.

Especificación de cátodos para sputtering de nitruro de boro (BN)

Nota: Configuraciones personalizadas (pureza, dimensiones, unión) e informes de análisis de materiales disponibles bajo pedido.

Aplicaciones de los cátodos para sputtering de nitruro de boro (BN)

El nitruro de boro es una cerámica única con una alta conductividad térmica y un excelente aislamiento eléctrico, una combinación difícil de encontrar. Las aplicaciones más comunes incluyen

• Fabricación de semiconductores: Se utiliza como capa aislante, película de pasivación y barrera de difusión en la fabricación de circuitos integrados.

• Microelectrónica y MEMS: Capas dieléctricas, capas tampón para dispositivos GaN y revestimientos protectores para sensores.

• Recubrimientos ópticos: Capas protectoras transparentes para óptica infrarroja y componentes láser

• Recubrimientos de alta temperatura: El BN mantiene la estabilidad a temperaturas extremas, ideal para revestimientos protectores en aplicaciones aeroespaciales e industriales.

• Investigación de materiales 2D: el h-BN se utiliza ampliamente como sustrato y capa dieléctrica para la investigación del grafeno y otros materiales 2D.

• Gestión térmica: A pesar de ser eléctricamente aislante, el BN tiene una alta conductividad térmica, por lo que se utiliza en materiales de interfaz térmica y disipadores de calor.

Embalaje de cátodos para sputtering de nitruro de boro (BN)

El BN es blando en comparación con los cátodos metálicos: puede astillarse o agrietarse si se manipula con brusquedad. Tenemos esto en cuenta a la hora de embalar los cátodos. Cada cátodo se limpia, se inspecciona y, a continuación, se sella al vacío en un embalaje con barrera contra la humedad. Para formas personalizadas o pedidos más grandes, utilizamos insertos de espuma a medida para mantener el blanco estable durante el transporte. Si tiene requisitos específicos de embalaje (certificación de sala limpia, etc.), háganoslo saber y nos adaptaremos a sus necesidades.