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    • ST0185 Cátodos para sputtering de dióxido de silicio (SiO2)

    Catálogo No. ST0185
    Composición SiO₂
    Número CAS 7631-86-9
    Pureza ≥99 % (99,9 % - 99,999 % disponible previa solicitud)
    Densidad 2,65 g/cm³
    Punto de fusión 1710 ℃
    Apariencia Blanco o translúcido
    Forma Discos o hechos a medida
    Diámetro 2", 3", 4", 5", 6" o a medida
    Espesor 0,125", 0,25" o a medida
    Tipo de bono Cobre, indio, elastómero

    El blanco de pulverización de dióxido de silicio (SiO₂) de Stanford Advanced Materials ofrece una alta pureza (≥99 %) y una excelente estabilidad térmica para procesos de pulverización por radiofrecuencia. Es ideal para la fabricación de semiconductores, recubrimientos ópticos y deposición de películas finas.

    Productos relacionados: blanco de pulverización de silicio (Si), blanco de pulverización de nitruro de silicio (Si₃N₄), blanco de pulverización de óxido de titanio (TiO₂)

    CONSULTA
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    Silicon Dioxide (SiO2) Sputtering Target
    Silicon Dioxide (SiO2) Sputtering Target
    Descripción
    Especificación
    SDS
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    Este artículo
    ST0185 Cátodos para sputtering de dióxido de silicio (SiO2)
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    Composición
    SiO₂
    Número CAS
    7631-86-9
    Pureza
    ≥99 % (99,9 % - 99,999 % disponible previa solicitud)
    Densidad
    2,65 g/cm³
    Punto de fusión
    1710 ℃
    Apariencia
    Blanco o translúcido
    Forma
    Discos o hechos a medida
    Diámetro
    2", 3", 4", 5", 6" o a medida
    Espesor
    0,125", 0,25" o a medida
    Tipo de bono
    Cobre, indio, elastómero
     
    ST0197 Blanco para sputtering de dióxido de titanio (TiO2)
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    Composición
    TiO₂
    Número CAS
    13463-67-7
    Pureza
    99,5% / 99,9% / 99,99% (personalizable)
    Forma
    Discos, o a medida
    Diámetro
    2", 3", 4", 5", 6" o personalizado
    Espesor
    0,25", 0,125" o personalizado
    Tipo de bono
    Cobre, o personalizado
    Sinónimos
    Cátodos para sputtering de dióxido de titanio, Cátodos TiO2
     
    ST11168 Cátodos para sputtering planares de óxido de aluminio, Al2O3
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    Composición
    Al₂O₃
    Pureza
    ≥99,99 %
    Formulario
    Objetivo
    Forma
    Rectangular
    Dimensiones
    Personalizado

    FAQ

    P: ¿Por qué hay que depositar el SiO₂ mediante pulverización catódica con corriente de radiofrecuencia (RF) en lugar de con corriente continua (CC)?

    R: El dióxido de silicio es un material aislante. La pulverización por corriente continua provocaría una acumulación de carga en la superficie del blanco, lo que daría lugar a la formación de arcos eléctricos y a una deposición inestable. La pulverización por radiofrecuencia evita la acumulación de carga, lo que garantiza la obtención de películas delgadas estables y uniformes.

    P: ¿Qué opciones de pureza hay disponibles para el blanco de pulverización de SiO₂?

    R: La pureza estándar es ≥99 %. Hay disponibles purezas superiores (99,9 %, 99,99 %, 99,995 % y hasta 99,999 %) bajo pedido. Por favor, póngase en contacto con nuestro equipo para comunicarnos sus requisitos específicos.

    P: ¿Se puede personalizar el blanco de pulverización de dióxido de silicio para que se adapte a mi cámara?

    R: Sí. Ofrecemos tamaños y formas personalizados (discos, placas, blancos giratorios), así como distintos tipos de fijación. Indique el modelo de su equipo o envíenos un plano del blanco para que podamos ofrecerle un presupuesto preciso.

    P: ¿Cuál es la diferencia entre un blanco de SiO₂ y un blanco de Si para la deposición de óxido?

    R: Los blancos de SiO₂ depositan directamente dióxido de silicio. Los blancos de Si depositan silicio puro, que posteriormente debe oxidarse en una atmósfera reactiva de oxígeno. Para la mayoría de las aplicaciones de recubrimiento con óxido, los blancos de SiO₂ ofrecen un mejor control del proceso y una mayor reproducibilidad.

    P: ¿Qué sectores son los que más se benefician del uso de blancos de pulverización catódica de dióxido de silicio?

    R: Fabricación de semiconductores, producción de componentes ópticos, industria de las pantallas (OLED), fabricación de células fotovoltaicas/solares e investigación en materiales avanzados.

    P: ¿Está disponible el blanco de SiO₂ en versión giratoria (rotativa)?

    R: Sí. Disponemos de blancos rotativos de SiO₂ para sistemas de recubrimiento de alto rendimiento. Por favor, consúltenos indicando el modelo y las dimensiones de su equipo.

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