ST0215: Blanco de pulverización de nitruro de silicio (Si₃N₄)

Name: ST0215 Silicon Nitride (Si3N4) Sputtering Target
SKU: ST0215
Availability: InStock
Rating: 4.9 (166 reviews)

Catálogo No.	ST0215
Composición	Si₃N₄
Número CAS	12033-89-5
Pureza	≥99 %
Forma	Discos o hechos a medida
Sinónimos	Blanco de pulverización de nitruro de silicio, blanco de Si₃N₄, blanco cerámico de pulverización

En Stanford Advanced Materials (SAM), fabricamos nuestros blancos de pulverización de nitruro de silicio (Si₃N₄) mediante sinterización por prensado en caliente y mecanizado de precisión. Este proceso nos permite alcanzar una densidad superior al 99 % y un tamaño de grano fino (2-5 μm), dos aspectos fundamentales para una pulverización por RF limpia y uniforme. El nitruro de silicio es el material de referencia para capas duras y aislantes en semiconductores, MEMS y recubrimientos ópticos. Disponemos de discos estándar de 2" a 6" y, por supuesto, también fabricamos tamaños a medida.

Productos relacionados: Blanco de pulverización de óxido de aluminio (Al₂O₃), blanco de pulverización de óxido de titanio (TiO₂), blanco de pulverización de dióxido de silicio (SiO₂)

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Silicon Nitride (Si₃N₄) Sputtering Target

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ST0215: Blanco de pulverización de nitruro de silicio (Si₃N₄)

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Composición

Si₃N₄

Número CAS

12033-89-5

Pureza

≥99 %

Forma

Discos o hechos a medida

Sinónimos

Blanco de pulverización de nitruro de silicio, blanco de Si₃N₄, blanco cerámico de pulverización

ST0208 Blanco para sputtering de nitruro de aluminio (AlN)

Agregar a la lista

Composición

AlN

Número CAS

24304-00-5

Pureza

≥99%

Forma

Discos, o a medida

ST0217 Blanco para sputtering de nitruro de titanio (TiN)

Agregar a la lista

Composición

TiN

Número CAS

25583-20-4

Pureza

≥99%

Forma

Discos, o a medida

Sinónimos

Cátodos para sputtering de nitruro de titanio, Cátodos TiN

FAQ

P: ¿Qué método de pulverización catódica se recomienda para los blancos de nitruro de silicio?

R: El nitruro de silicio (Si₃N₄) es un material cerámico con alta resistividad eléctrica, por lo que requiere pulverización por RF o RF-Reactiva (RF-R). La pulverización por CC no es adecuada para este material debido a la acumulación de carga en la superficie del blanco.

P: ¿Cuál es la diferencia entre los blancos de pulverización de Si3N4 y los de SiN?

R: Ambas notaciones se refieren al nitruro de silicio, pero la estequiometría exacta puede variar. Si₃N₄ indica el compuesto estequiométrico (relación silicio-nitrógeno de 3:4). En algunas aplicaciones pueden utilizarse composiciones con un ligero déficit de nitrógeno (SiNx). Especifique sus requisitos al realizar el pedido.

P: ¿Es necesario unir los blancos de nitruro de silicio a una placa de soporte?

R: Debido a la fragilidad de los materiales cerámicos y a la potencia de radiofrecuencia utilizada, por lo general recomendamos unir los blancos de Si₃N₄ a una placa de soporte de cobre mediante indio o elastómero. Esto mejora la gestión térmica y evita que el blanco se agriete durante el pulverizado catódico.

P: ¿Cuál es el plazo de entrega de un blanco de pulverización de nitruro de silicio fabricado a medida?

R: El plazo de entrega habitual para los tamaños personalizados es de 3 a 4 semanas tras la confirmación del pedido. Los discos de tamaño estándar (2"-6") pueden enviarse antes. Ponte en contacto con nosotros para conocer el estado actual de las existencias.

P: ¿Podría indicarnos la tasa de pulverización típica de su blanco de Si₃N₄?

R: Las tasas de pulverización dependen de la potencia de RF específica, la presión y la configuración del sistema. Nuestro equipo técnico puede facilitarle valores de referencia y recomendaciones sobre el proceso en función de su equipo. Por favor, incluya los detalles de su sistema en su consulta.

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Parámetro	Especificaciones
Material	Nitruro de silicio (Si₃N₄)
Pureza	≥99 % (99,5 % / 99,9 % disponibles bajo pedido)
Número CAS	12033-89-5
Color/Aspecto	Blanco grisáceo
Densidad teórica	3,44 g/cm³
Densidad relativa	>99 % de la teórica
Tamaño de grano	2–5 μm (controlado)
Método de pulverización catódica	RF, RF reactivo (RF-R)
Proceso de fabricación	Sinterización por prensado en caliente + mecanizado de precisión
Acabado superficial	Pulido (< 0,5 μm Ra)
Tipo de unión	Indio, elastómero (personalizable)
Forma estándar	Disco
Diámetros estándar	2", 3", 4", 6"
Rango de espesores	3 mm, 6 mm (disponibles a medida)
Embalaje	Sala limpia de clase 100, sellado al vacío

Parámetro	Especificaciones
Material	Nitruro de silicio (Si₃N₄)
Pureza	≥99 % (99,5 % / 99,9 % disponibles bajo pedido)
Número CAS	12033-89-5
Color/Aspecto	Blanco grisáceo
Densidad teórica	3,44 g/cm³
Densidad relativa	>99 % de la teórica
Tamaño de grano	2–5 μm (controlado)
Método de pulverización	RF, RF reactivo (RF-R)
Proceso de fabricación	Sinterización por prensado en caliente + mecanizado de precisión
Acabado superficial	Pulido (< 0,5 μm Ra)
Tipo de unión	Indio, elastómero (personalizable)
Forma estándar	Disco
Diámetros estándar	2", 3", 4", 6"
Rango de espesor	3 mm, 6 mm (disponibles a medida)
Embalaje	Sala limpia de clase 100, sellado al vacío

Region & Language

North America

South America

Europe

Asia Pacific

Middle-East

ST0215: Blanco de pulverización de nitruro de silicio (Si₃N₄)

Descripción del blanco de pulverización de nitruro de silicio (Si₃N₄)

Especificaciones del blanco de pulverización de nitruro de silicio (Si3N4)

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P: ¿Cuál es la diferencia entre los blancos de pulverización de Si3N4 y los de SiN?

P: ¿Es necesario unir los blancos de nitruro de silicio a una placa de soporte?

P: ¿Cuál es el plazo de entrega de un blanco de pulverización de nitruro de silicio fabricado a medida?

P: ¿Podría indicarnos la tasa de pulverización típica de su blanco de Si₃N₄?

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