Calculadora de material para depósito de película delgada

Estime el material fuente necesario para depositar una película de 1 µm en un punto de un sustrato plano situado directamente encima de una fuente de evaporación. Seleccione el tipo de fuente, introduzca la distancia fuente-sustrato y elija un material o introduzca su densidad. Use esta calculadora para una comparación inicial de los requisitos de material de evaporación bajo la geometría de referencia.

Fuente

Tiene en cuenta la distribución aproximada del penacho de la fuente seleccionada.

Distancia de la fuente al sustrato cm

Distancia de proyección desde la fuente hasta el punto de interés del sustrato.

Material

Densidad del material kg/m³

Seleccione un material o introduzca manualmente la densidad en kg/m³.

Multiplicador

Escala la masa necesaria para una película de 1 micra (p. ej. 2 = equivalente a 2 μm). El valor predeterminado es 1.

Masa estimada —

Densidad utilizada —

Solo estimación. La masa es para una película de 1 micra en un punto directamente encima de la fuente (luego × multiplicador). No cubre la no uniformidad en áreas grandes, fuentes desplazadas o inclinadas, ni pérdidas de proceso durante el arranque y la estabilización.

Cómo usar la calculadora de material de depósito

Seleccione el tipo de fuente mostrado en la calculadora.
Introduzca la distancia desde la fuente hasta el sustrato en centímetros.
Seleccione el material de depósito, o introduzca su densidad manualmente en kg/m³.
Deje el multiplicador en su valor base a menos que pretenda aplicar un factor de escala aparte.
Revise la masa estimada de material fuente para la condición de depósito de 1 µm indicada.

Compruebe con cuidado la unidad de densidad. 1 g/cm³ = 1.000 kg/m³; introducir un valor en la unidad incorrecta cambiará sustancialmente el resultado.

Qué representa el resultado

La calculadora estima el material necesario para una película de 1 µm en un punto directamente encima de la fuente. La selección del tipo de fuente tiene en cuenta una distribución aproximada del material que sale de esa fuente.

El resultado es útil para comparar materiales, ajustes de fuente y distancias fuente-sustrato bajo las hipótesis de la calculadora. No debe interpretarse como la masa depositada de forma uniforme en una oblea, panel o lote completo de piezas.

Por qué la geometría cambia los requisitos de material

El material que sale de una fuente de evaporación se dispersa por la cámara. Cambiar la distancia fuente-sustrato afecta a cuánto material llega a una ubicación dada. Un sustrato alejado del punto directamente encima de la fuente, o montado en ángulo, puede recibir un espesor distinto.

El tamaño del sustrato, la rotación, los utillajes, el sombreado y la geometría de la cámara también pueden cambiar la eficiencia y la uniformidad del depósito. Use tasas de depósito medidas y mapas de espesor al planificar un proceso de producción.

Tenga en cuenta las pérdidas de proceso

La estimación de la calculadora se refiere a la condición de depósito de película indicada. Una corrida real puede consumir material adicional durante el calentamiento de la fuente, la estabilización, el depósito de prueba y el apagado. También puede quedar material residual en la fuente tras la corrida.

Al planificar un pedido, separe la masa de depósito estimada del material total que espera cargar o comprar. Stanford Advanced Materials suministra materiales de evaporación en distintas composiciones y formas para aplicaciones de película delgada.

Preguntas frecuentes

¿La calculadora estima material para cualquier espesor de película?

Su resultado base es para una película de 1 µm bajo la geometría indicada. No trate el resultado mostrado como una estimación automáticamente validada para otro espesor a menos que aplique y verifique deliberadamente un método de escala adecuado.

¿El resultado cubre todo el sustrato?

No. Describe la masa estimada necesaria para el espesor objetivo en el punto directamente encima de la fuente. El espesor en otras zonas del sustrato puede diferir.

¿Por qué la calculadora pide la densidad del material?

El volumen de película depositada y la distribución de la fuente deben relacionarse con una masa de material. Distintos materiales tienen distintas densidades, por lo que la masa estimada cambia aunque el espesor nominal sea el mismo.

¿Qué hago si mi material no está en la lista?

Introduzca su densidad manualmente en kg/m³, usando un valor adecuado al material que pretende depositar. Compruebe el grado, la composición y la fuente de ese valor.

¿La masa calculada es la cantidad que debo cargar en la fuente?

No necesariamente. Los requisitos de carga también dependen de la capacidad de la fuente, la operación estable, las pérdidas de arranque y la cantidad de material usable que queda tras una corrida. Trate el resultado como una estimación de depósito para la planificación.

Tabla de conversión granulométrica

Caculador de tamaño y peso del metal

Conversor de unidades de densidad

Conversor de unidades de longitud

Conversor de unidades de masa/peso

Conversor de unidades de presión

Conversor de unidades de temperatura

Conversor de unidades de volumen

Calculadora de llenado de crisol de evaporación

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Conversor de calibre de alambre

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