Horno tubular 1700C con sistema de alto vacío y mezclador de gas MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Descripción
El horno tubular 1700C con sistema de alto vacío y mezclador de gas MFCGSL-1700X-4-HVC-LD es un horno tubular de alúmina de una sola zona con un diámetro de 60 mm, que cuenta con un sistema de bomba de alto vacío capaz de alcanzar hasta 10^-5 torr. Está equipado con controladores digitales de flujo másico de precisión de 2 canales, que permiten un control preciso de dos tipos de gases para procesos de deposición química en fase vapor (CVD) o de difusión. Este horno puede funcionar a temperaturas de hasta 1600°C, por lo que es adecuado para aplicaciones de alta temperatura que requieren una atmósfera controlada y una gestión precisa de los gases.
Horno tubular 1700C con sistema de alto vacío y mezclador de gas MFC Especificaciones GSL-1700X-4-HVC-LD
Hornotubular serie GSL-1700X
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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire: Proporciona un aislamiento robusto e integridad estructural, garantizando un funcionamiento seguro.
- Ventiladores de refrigeración dobles: Mantiene la temperatura de la carcasa por debajo de 55°C, mejorando la fiabilidad y la longevidad.
- Cámara refractaria de alúmina de alta pureza: Garantiza la estabilidad térmica y la resistencia a altas temperaturas, ideal para aplicaciones exigentes.
- Carro móvil con cuatro ruedas: Facilita la movilidad y el posicionamiento dentro del espacio de trabajo, aumentando la flexibilidad.
- Sistema de mezcla de vacío y gas listo para usar: Incluye brida de vacío, manómetro, válvulas, tuberías y una bomba de alto vacío para una configuración y funcionamiento inmediatos, garantizando comodidad y eficiencia.
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Tubo de procesamiento
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Material: Alúmina de gran pureza
El horno incluye un tubo de alúmina de procesamiento de 60 mm de diámetro exterior (EQ-TA-60D-M1000).
El horno también se puede fabricar a medida para adaptarse al tubo de alúmina de procesamiento de 50 mm u 80 mm de diámetro exterior con un coste adicional; póngase en contacto con nosotros para obtener más información.
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Elementos calefactores
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8 piezas Elemento calefactor de MoSi2 de 1800°C
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Alimentación
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CA 208-240V Monofásica, 50/60Hz
6KW
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Temp. de trabajo
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- Temp. Temp: 1650℃ (1 hr); 1600℃ (continuo)
- Velocidad de calentamiento: ≤5℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud dela zona de calentamiento
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Longitud de la zona de calentamiento: 457 mm (18")
Longitud de la zona de temperatura constante: 150 mm (6") (+/-1°C)
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Control Temp. Control
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- Control automático PID mediante limitación de corriente ángulo de fase disparada la resistencia con 30 pasos segmentos programables.
- Precisión de temperatura: ±1°C
- Termopar Tipo B incorporado en el interior del horno
- Puerto de comunicaciones RS485.
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Sello de vacío
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Un par de bridas de vacío de acero inoxidable con:
- un vacuómetro mecánico
- dos válvulas de aguja
- un conector KF-25 y un adaptador KF-25 a KF-40 para la estación de alto vacío.
- un conector para tubo Swagelok de 1/4
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Dimensiones
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550 x 380 x 520 mm
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Estación de alto vacío
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Potencia
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100~110W
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Tensión nominal
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AC 208-240V Monofásico, 50/60Hz
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Dimensiones
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600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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Estructura
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Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (A) x 700(Al), mm
Carga máx. Carga 600 Lbs en la parte superior
Panel de control de la bomba molecular: LCD digital
Interior: Bomba de vacío
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Panel de control
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Operación con un botón - la bomba de diafragma y la turbobomba se pondrán en marcha tras pulsar el botón "start".
Velocidad de giro controlada por el sistema - el controlador controlará la velocidad de giro de la turbina hacia arriba y hacia abajo según el nivel de vacío y la tasa de fuga de la cámara de reacción.
Auto-protección - el sistema protegerá la bomba de daños por sobrecalentamiento y sobre-corriente si la tasa de fuga de la cámara de reacción es demasiado alta para alcanzar un alto vacío.
Pantalla LCD: la interfaz de comprobación de parámetros de dos líneas facilita el trabajo.
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Caudal
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Nitrógeno N2 33 L/s
Helio He 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrógeno H2 32 L/s
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Rango de trabajo
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Presión máxima
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<1E-8 mbar (sin fugas)
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Control de gas de flujo másico
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Estructura
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Hecho de válvula de acero inoxidable 316
Tanque de mezcla de gas: Φ80X120mm
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
Panel de control con pantalla táctil en color de 6" para facilitar la configuración de los parámetros.
Control de pantalla táctil y PC remoto conmutable.
El rango de control de caudal y un número de rutas de gas están disponibles para su personalización. Póngase en contacto con nosotros para obtener información detallada.
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Potencia
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23 W por canal
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Tensión nominal
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AC 220V/50Hz Monofásico
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Notas y garantía
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Notas de aplicación
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Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1500°C para tubos de alúmina
Los hornos tubulares con tubos de alúmina están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,12 MPa (presión absoluta)
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Garantía
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Garantía limitada de un año (las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertas por la garantía, solicite los recambios en productos relacionados más abajo).
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Conformidad
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- Certificado CE
- Certificación NRTL(UL61010) o CSA disponible con coste adicional.
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Dimensiones de envío
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Dos cajas en un palé de plástico: 45x45x35/caja
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Advertencias
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- Los hornos tubulares con tubos de alúmina están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,02 MPa/ 3 PSI
- Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
- Nunca caliente el horno mientras la válvula de escape de gas esté cerrada y exista una condición de presión positiva dentro de la cámara del horno. El manómetro debe utilizarse para controlar de cerca el estado de la cámara en todo momento durante el proceso de calentamiento; por favor, abra la válvula de escape de gas inmediatamente una vez que la presión de la cámara haya alcanzado más de 3 PSI para evitar daños imprevisibles.
- El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM ( o 200ml/min )
- Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1500°C
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Horno tubular 1700C con sistema de alto vacío y mezclador de gas MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Aplicaciones
- Deposición química en fase vapor (CVD):
Permite la deposición de películas finas y recubrimientos sobre sustratos con atmósferas de gas controladas.
Se utiliza en la fabricación de semiconductores, el recubrimiento de superficies y la síntesis de nanomateriales.
Facilitan el movimiento controlado de átomos o moléculas dentro de materiales sólidos.
Esenciales para dopar materiales semiconductores y mejorar las propiedades de los materiales.
- Recocido y sinterización a alta temperatura:
Ideal para procesos de recocido destinados a mejorar la cristalinidad del material y eliminar defectos.
Permite sinterizar cerámicas y metales para densificarlos y mejorar sus propiedades mecánicas.
- Investigación y desarrollo:
Proporciona un entorno controlado para estudiar el comportamiento y las propiedades de los materiales a altas temperaturas.
Esencial para explorar nuevos materiales y procesos en laboratorios de investigación.
Horno tubular 1700C con sistema de alto vacío y mezclador de gas MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Embalaje
Nuestro Horno tubular 1700C con sistema de alto vacío y mezclador de gas MFC GSL-1700X-4-HVC-LD es cuidadosamente manipulado durante su almacenamiento y transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.
Especificación
Hornotubular serie GSL-1700X
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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire: Proporciona un aislamiento robusto e integridad estructural, garantizando un funcionamiento seguro.
- Ventiladores dobles de refrigeración: Mantiene la temperatura de la carcasa por debajo de 55°C, mejorando la fiabilidad y la longevidad.
- Cámara refractaria de alúmina de alta pureza: Garantiza la estabilidad térmica y la resistencia a altas temperaturas, ideal para aplicaciones exigentes.
- Carro móvil con cuatro ruedas: Facilita la movilidad y el posicionamiento dentro del espacio de trabajo, aumentando la flexibilidad.
- Sistema de mezcla de vacío y gas listo para usar: Incluye brida de vacío, manómetro, válvulas, tuberías y una bomba de alto vacío para una configuración y funcionamiento inmediatos, garantizando comodidad y eficiencia.
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Tubo de procesamiento
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Material: Alúmina de gran pureza
El horno incluye un tubo de alúmina de procesamiento de 60 mm de diámetro exterior (EQ-TA-60D-M1000).
El horno también se puede fabricar a medida para adaptarse al tubo de alúmina de procesamiento de 50 mm u 80 mm de diámetro exterior con un coste adicional; póngase en contacto con nosotros para obtener más información.
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Elementos calefactores
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8 piezas Elemento calefactor de MoSi2 de 1800°C
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Alimentación
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CA 208-240V Monofásica, 50/60Hz
6KW
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Temp. de trabajo
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- Temp. Temp: 1650℃ (1 hr); 1600℃ (continuo)
- Velocidad de calentamiento: ≤5℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud dela zona de calentamiento
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Longitud de la zona de calentamiento: 457 mm (18")
Longitud de la zona de temperatura constante: 150 mm (6") (+/-1°C)
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Control Temp. Control
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- Control automático PID mediante limitación de corriente ángulo de fase disparada la resistencia con 30 pasos segmentos programables.
- Precisión de temperatura: ±1°C
- Termopar Tipo B incorporado en el interior del horno
- Puerto de comunicaciones RS485.
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Sello de vacío
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Un par de bridas de vacío de acero inoxidable con:
- un vacuómetro mecánico
- dos válvulas de aguja
- un conector KF-25 y un adaptador KF-25 a KF-40 para la estación de alto vacío.
- un conector para tubo Swagelok de 1/4
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Dimensiones
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550 x 380 x 520 mm
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Estación de alto vacío
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Potencia
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100~110W
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Tensión nominal
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AC 208-240V Monofásico, 50/60Hz
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Dimensiones
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600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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Estructura
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Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (A) x 700(Al), mm
Carga máx. Carga 600 Lbs en la parte superior
Panel de control de la bomba molecular: LCD digital
Interior: Bomba de vacío
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Panel de control
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Operación con un botón - la bomba de diafragma y la turbobomba se pondrán en marcha tras pulsar el botón "start".
Velocidad de giro controlada por el sistema - el controlador controlará la velocidad de giro de la turbina hacia arriba y hacia abajo según el nivel de vacío y la tasa de fuga de la cámara de reacción.
Auto-protección - el sistema protegerá la bomba de daños por sobrecalentamiento y sobre-corriente si la tasa de fuga de la cámara de reacción es demasiado alta para alcanzar un alto vacío.
Pantalla LCD: la interfaz de comprobación de parámetros de dos líneas facilita el trabajo.
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Caudal
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Nitrógeno N2 33 L/s
Helio He 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrógeno H2 32 L/s
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Rango de trabajo
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Presión máxima
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<1E-8 mbar (sin fugas)
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Control de gas de flujo másico
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Estructura
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Hecho de válvula de acero inoxidable 316
Tanque de mezcla de gas: Φ80X120mm
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
Panel de control con pantalla táctil en color de 6" para facilitar la configuración de los parámetros.
Control de pantalla táctil y PC remoto conmutable.
El rango de control de caudal y un número de rutas de gas están disponibles para su personalización. Póngase en contacto con nosotros para obtener información detallada.
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Potencia
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23 W por canal
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Tensión nominal
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AC 220V/50Hz Monofásico
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Notas y garantía
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Notas de aplicación
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Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1500°C para tubos de alúmina
Los hornos tubulares con tubos de alúmina están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,12 MPa (presión absoluta)
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Garantía
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Garantía limitada de un año (las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor, solicite los recambios en productos relacionados más abajo).
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Conformidad
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- Certificado CE
- Certificación NRTL(UL61010) o CSA disponible con coste adicional.
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Dimensiones de envío
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Dos cajas en un palé de plástico: 45x45x35/caja
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Advertencias
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- Los hornos tubulares con tubos de alúmina están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,02 MPa/ 3 PSI
- Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
- Nunca caliente el horno mientras la válvula de escape de gas esté cerrada y exista una condición de presión positiva dentro de la cámara del horno. El manómetro debe utilizarse para controlar de cerca el estado de la cámara en todo momento durante el proceso de calentamiento; por favor, abra la válvula de escape de gas inmediatamente una vez que la presión de la cámara haya alcanzado más de 3 PSI para evitar daños imprevisibles.
- El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM ( o 200ml/min )
- Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1500°C
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*La información del producto indicada anteriormente se basa en datos teóricos y es solo de referencia. Las especificaciones reales pueden variar.
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