Descatalogado IF5320 (Descatalogado) 650C Horno CSS de dos zonas para tratamiento térmico rápido OTF-1200X-RTP-II

Estructura del horno y cámara de vacío

• Calentadores duales, dos controladores de temperatura y caudalímetros de gas de dos canales están integrados en un bastidor móvil de aleación de aluminio
• La cámara está fabricada con tubo de cuarzo fundido de gran pureza
• Tamaño del tubo de cuarzo: 11" DE/10,8" DI x 9" AL
• Fieltro de fibra de carbono como aislamiento térmico
• Las bridas de vacío son de acero inoxidable 316
• Dimensiones totales: 850(L)×745(A)×1615(H) mm

Bridas de vacío

• La brida superior, con un puerto de vacío KFD-25 y dos salidas de gas (requiere tubo de 1/4"), puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar sustrato y material evaporado con facilidad
• La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 con dos entradas de gas (se requiere tubería de 1/4") y válvulas de aguja
• La brida está sellada mediante juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar una presión de vacío máxima de 10E-2 Torr con una bomba mecánica de calidad y de 10E-5 Torr con una bomba molecular
• El paquete estándar incluye un vacuómetro digital anticorrosión de precisión

Calentador y portamuestras

• Dos lámparas IR de onda corta como elementos calefactores para un calentamiento rápido.
• La distancia entre dos calentadores es ajustable de 10 - 50 mm
• Los calentadores son de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido
• El calentador superior incorpora un soporte para obleas redondas de 3" para cargar el sustrato
• Se incluye una placa de AlN de alta conductividad térmica (3" de diámetro x 0,5 mm de grosor), que se colocará en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente.
• Se puede utilizar una placa de grafito de 3" como alternativa a la placa AIN.
• El calentador de luz halógena puede sustituirse con un coste adicional.

Controlador de temperatura

• Dos controladores digitales de temperatura de precisión con 30 segmentos programables para controlar independientemente los calentadores superior e inferior
• Cada controlador dispone de una función de autoajuste PID para proteger los calefactores contra el sobrecalentamiento y una función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y la rotura del par térmico
• Interfaz de comunicación con PC y software instalado

Temperatura de trabajo

• Temperatura máxima para cada calentador: ≤ 650℃
• Diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: ≤ 300℃ depende de la separación entre dos calentadores:

Velocidad de calentamiento y enfriamiento

• Calentamiento: < 8℃/s ( calentando sólo un calentador )
• Enfriamiento: < 10℃/s (600 - 100℃) Máx.

Pareja térmica

• Dos pares térmicos tipo K (expuestos) se instalan en los calentadores superior e inferior por separado

Voltaje de trabajo

• 208 - 240VAC, monofásico, disyuntor 20A

Requisitos de potencia

• 2200W en total (1100W para cada calentador)

Garantía

• Limitada a un año con asistencia de por vida (la garantía no cubre las piezas consumibles, como los tubos de cuarzo y las lámparas calefactoras)

Conformidad

• Certificado CE