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ST11209: Blanco de pulverización de silicio, blanco de Si

Catálogo No. ST11209
Composición
Pureza ≥99,99 %, o a medida
Formulario Objetivo
Forma Redondo, rectangular
Dimensiones Personalizado

El blanco de pulverización de silicio (blanco de Si) es un blanco de silicio metálico fabricado para la deposición física de vapor. Stanford Advanced Materials (SAM) aplica prácticas consolidadas de deposición química de vapor y utiliza microscopía electrónica propia para supervisar la uniformidad de la superficie durante la producción. El proceso de SAM incluye una inspección cuantitativa de defectos y mediciones calibradas de densidad para mantener las especificaciones del material que resultan fundamentales para la deposición de películas finas. Este blanco se fabrica prestando especial atención a la composición medida y a la precisión dimensional.

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Silicon Sputtering Target, Si Target
Silicon Sputtering Target, Si Target
Descripción
Especificación
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Composición
Pureza
≥99,99 %, o a medida
Formulario
Objetivo
Forma
Redondo, rectangular
Dimensiones
Personalizado
 
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Material
R4251 (Nb-1Zr) R4261 (Nb-1Zr)
Dimensiones
Objetos circulares: diámetro de 10 a 400 mm; grosor de 2 a 28 mm
Pureza
99,9 % 99,95 % 99,99 %
 
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Dimensiones
Diámetro: 10-400 mm, o a medida
Material
Nb-10Hf
Formulario
Blanco, Disco
 
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Material
90% In2O3+10% SnO2 / 95% In2O3+5% SnO2
Pureza
>=99.99%
Densidad
7,1 g/cm3

FAQ

¿Cómo influye la función de dimensión personalizada en la uniformidad de la deposición de la película en aplicaciones de pulverización catódica?

Las dimensiones personalizadas permiten la integración en configuraciones de equipos que requieren tamaños de objetivo específicos, lo que puede mejorar la uniformidad de la deposición de películas finas. La adaptación a los requisitos del proceso minimiza los efectos de borde y favorece un crecimiento uniforme de la película. Ponte en contacto con nosotros para obtener asesoramiento detallado sobre la integración.

¿Qué especificaciones de pureza del material suelen cumplirse en los blancos de pulverización de silicio?

El silicio de alta pureza se utiliza para reducir las variaciones en las capas depositadas provocadas por contaminantes. El proceso de producción incluye ensayos cuantitativos e inspecciones de la superficie para verificar que el silicio cumple los niveles de pureza controlados, esenciales para los procesos de semiconductores.

¿Se puede adaptar el blanco de silicio a los distintos requisitos de los sistemas de pulverización catódica?

Sí, es posible personalizar las dimensiones. Esto permite que el blanco se adapte a diversas geometrías de cámara y sistemas de deposición. El ajuste del tamaño del blanco ayuda a optimizar la eficiencia de la pulverización catódica y la uniformidad de la película en diferentes configuraciones de producción.

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País*

España

    Purity

    99.9%

    • 99.9%
    • 99.5%
    • 99.99%
    • 99.999%
    • Other
    Diameter

    2''

    • 2''
    • 3''
    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • Otros
    • Other
    Thickness

    0,25''

    • 0,25''
    • 0,125''
    • Todos
    • Other
    Bonding

    • No
    • Other

    Tipos de archivos aceptados: PDF, png, jpg, jpeg. Se pueden subir varios archivos a la vez; cada archivo debe tener un tamaño inferior a 2 MB.

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