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ST11168 Cátodos para sputtering planares de óxido de aluminio, Al2O3

Catálogo No. ST11168
Composición Al2O3
Pureza ≥99.99%
Formulario Objetivo
Forma Rectangular
Dimensiones Personalizado

El cátodo para sputtering planar de óxido de aluminio Al2O3 se fabrica con alúmina de gran pureza procesada en condiciones controladas. Stanford Advanced Materials (SAM) emplea protocolos de inspección detallados, que incluyen difracción de rayos X y perfilometría de superficie, para verificar la planitud y la pureza. El proceso de producción controla estrictamente la consistencia de la composición y la integridad microestructural, garantizando que el cátodo cumpla los estrictos requisitos de las aplicaciones de sputtering.

CONSULTA
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Aluminum Oxide Planar Sputtering Target, Al2O3 Target
Aluminum Oxide Planar Sputtering Target, Al2O3 Target
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Composición
Al2O3
Pureza
≥99.99%
Formulario
Objetivo
Forma
Rectangular
Dimensiones
Personalizado
 
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Dimensiones
Personalizado
Material
Al₂O₃
Pureza
≥95 %, o a medida
Densidad
3,7–3,9 g/cm³
Máx. Temperatura de trabajo
Hasta 1650 °C (dependiendo de la pureza)
Diámetro
1 – 100 mm (a medida)
Sinónimos
Tubo de Al₂O₃, tubo de óxido de aluminio
 
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Material
AlN, nitruro de aluminio
Densidad
3,26 g/cm³
Apariencia
Blanco, gris claro
Forma
Sustrato
Punto de fusión
>2200 °C
Sinónimos
Sustratos de nitruro de aluminio, sustratos de AlN
 
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Pureza
≥95 %, o a medida
Densidad
3,7-3,9 g/cm³
Punto de fusión
2.072 °C
Dureza
Mohs 9
Número CAS
1344-28-1
Almacenamiento
Resistente a la humedad

FAQ

¿Cómo afecta la configuración planar a la uniformidad de la película en aplicaciones de sputtering?

La configuración plana mejora la uniformidad de la película al mantener una distancia constante entre el objetivo y el sustrato. Esto minimiza las variaciones en la velocidad de deposición, lo que resulta crucial a la hora de aplicar revestimientos en la fabricación de semiconductores y dispositivos ópticos.

¿Qué métodos de control de calidad se aplican al blanco de óxido de aluminio?

El cátodo se somete a una inspección dimensional mediante perfilometría láser y a un análisis de composición por fluorescencia de rayos X. Estos métodos garantizan que la microestructura y la composición química cumplen los estrictos requisitos de las aplicaciones de sputtering. Estos métodos garantizan que la microestructura y la composición química cumplen los estrictos requisitos de las aplicaciones de sputtering. Si desea más información, póngase en contacto con nosotros.

¿Pueden adaptarse las dimensiones del cátodo para sputtering a equipos específicos?

Sí, las dimensiones son personalizables para adaptarse a diversos sistemas de sputtering. La personalización garantiza una integración adecuada con su equipo de deposición, optimizando así la eficiencia del proceso y la consistencia de la deposición de la película.

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