ST18702: Blanco de pulverización de cobre y hierro

Catálogo No.	ST18702
Material	Aleación de cobre y hierro
Apariencia	Sólido metálico
Pureza	99,9 %, 99,99 %, 99,999 %

Los blancos de pulverización de cobre y hierro son fuentes de deposición de películas finas metálicas compuestas por aleaciones de cobre y hierro. Stanford Advanced Materials (SAM) fabrica estos blancos con tamaños de grano uniformes y proporciones elementales de cobre y hierro personalizables. SAM ofrece diversas geometrías, entre las que se incluyen discos planos, placas rectangulares y blancos giratorios, para adaptarse a los sistemas estándar de deposición física de vapor (PVD).

Productos relacionados: Berilio Blanco de pulverización de cobre, Estaño Blanco de plata y cobre (blanco SnAgCu), Aluminio Blanco de estaño y cobre (blanco AlSnCu)

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Descripción

Especificación

Opiniones

Propiedad	Valor
Fórmula	Cu-Fe
Material	Aleación de cobre y hierro
Sinónimos	Blanco de pulverización de cobre-hierro, blanco de Cu-Fe, blanco de pulverización de ferro-cobre Blanco
Aspecto	Sólido metálico
Pureza	99,9 %, 99,99 %, 99,999 %
Composición	Cu/Fe % en peso (p. ej., CuFe10, CuFe20 o proporción personalizada)
Densidad	8,6 - 8,9 g/cm³
Punto de fusión	1094 - 1430 °C

Propiedad	Valor
Fórmula	Cu-Fe
Material	Aleación de cobre y hierro
Sinónimos	Blanco de pulverización de cobre-hierro, blanco de Cu-Fe, blanco de pulverización de ferro-cobre Blanco
Aspecto	Sólido metálico
Pureza	99,9 %, 99,99 %, 99,999 %
Composición	Cu/Fe % en peso (p. ej., CuFe10, CuFe20 o proporción personalizada)
Densidad	8,6 - 8,9 g/cm³
Punto de fusión	1094 - 1430 °C

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ST18702: Blanco de pulverización de cobre y hierro

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Material

Aleación de cobre y hierro

Apariencia

Sólido metálico

Pureza

99,9 %, 99,99 %, 99,999 %

ST18633: Blanco de pulverización por solución sólida de carburo de tantalio y carburo de niobio (70:30)

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Objetivo

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Objetivo

Pureza

99 %

ST15998: Blanco de pulverización de silicio y níquel

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Forma

Redondo, personalizado

Formulario

Objetivo

FAQ

¿Cómo influye el efecto de blindaje magnético del componente de hierro presente en los blancos de pulverización de Cu-Fe en el proceso de pulverización por magnetrón?

La naturaleza ferromagnética del hierro redirige las líneas del campo magnético de los magnetrones estándar, lo que reduce el confinamiento del plasma en la superficie del blanco. Para mitigar este efecto de apantallamiento, los operarios deben utilizar blancos delgados (normalmente de menos de 3 mm) o emplear cátodos de magnetrón de alta resistencia para lograr una pulverización catódica estable y de alta velocidad de la película delgada de cobre-hierro.

Dado que el cobre y el hierro son prácticamente inmiscibles a temperatura ambiente, ¿cómo se mantiene la uniformidad de la composición en los blancos de Cu-Fe?

La separación de fases se evita utilizando técnicas de solidificación rápida o de metalurgia de polvos durante la fabricación del blanco. Estos procesos fijan las fases de cobre y hierro en una dispersión fina y homogénea. Esta microestructura refinada evita la pulverización preferencial del cobre, lo que permite mantener la transferencia estequiométrica de ambos elementos al sustrato.

¿Cuáles son los requisitos de disipación térmica de los blancos de pulverización de Cu-Fe durante la deposición de películas finas a alta potencia?

Los blancos de Cu-Fe requieren una unión de indio a las placas de soporte de cobre y una refrigeración activa por agua. Aunque el cobre tiene una alta conductividad térmica, la fase de hierro reduce la eficiencia térmica global de la aleación. Una refrigeración eficaz evita la deformación del blanco, la degradación de la capa de unión y la segregación de fases localizada provocada por los gradientes térmicos a altas densidades de potencia.