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ST11207 Cátodos para sputtering de titanato de circonato de plomo (PZT)

Catálogo No. ST11207
Composición Titanato de circonato de plomo
Pureza ≥99,99%, o personalizado
Formulario Objetivo
Forma Redondo, rectangular, etc.
Dimensiones Personalizado

El blanco de titanato de circonato de plomo, blanco PZT, es un blanco para sputtering compuesto de cerámica Pb(Zr,Ti)O₃, formulado para depositar películas finas en procesos industriales. Stanford Advanced Materials (SAM) emplea análisis cuantitativos de difracción de rayos X y perfilometría de superficie para evaluar la uniformidad del material y la integridad de las fases. El enfoque metódico de SAM confirma que cada blanco cumple estrictos criterios de composición y microestructura para aplicaciones avanzadas de sputtering.

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Lead Zirconate Titanate Target, PZT Target
Lead Zirconate Titanate Target, PZT Target
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Composición
Titanato de circonato de plomo
Pureza
≥99,99%, o personalizado
Formulario
Objetivo
Forma
Redondo, rectangular, etc.
Dimensiones
Personalizado
 
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Material
R4251 (Nb-1Zr) R4261 (Nb-1Zr)
Dimensiones
Objetos circulares: diámetro de 10 a 400 mm; grosor de 2 a 28 mm
Pureza
99,9 % 99,95 % 99,99 %
 
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Dimensiones
Diámetro: 10-400 mm, o a medida
Material
Nb-10Hf
Formulario
Blanco, Disco
 
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Material
90% In2O3+10% SnO2 / 95% In2O3+5% SnO2
Pureza
>=99.99%
Densidad
7,1 g/cm3

FAQ

¿Cómo afecta la dimensión personalizada a la uniformidad de la deposición durante el sputtering?

Unas dimensiones personalizadas permiten optimizar la distancia entre el objetivo y el sustrato y una distribución uniforme del plasma, lo que facilita la deposición uniforme de la película. El ajuste de las dimensiones puede equilibrar las tasas de deposición y mitigar los efectos de borde. Póngase en contacto con nosotros para obtener información detallada sobre la integración en sistemas de sputtering específicos.

¿Qué controles de proceso se utilizan para mantener la integridad microestructural del blanco de PZT?

Las medidas de control detalladas incluyen la difracción de rayos X y la perfilometría de superficie. Estas técnicas supervisan la distribución de las fases y el acabado de la superficie, garantizando que el blanco mantenga una microestructura constante durante la producción para conseguir unas características estables de la película.

¿Cómo deben gestionarse los aspectos térmicos teniendo en cuenta el punto de fusión durante la deposición por sputtering?

Aunque no se facilita el punto de fusión específico, la gestión térmica es fundamental. Implica mantener controlada la temperatura del sustrato e incorporar mecanismos de refrigeración para evitar el sobrecalentamiento localizado durante la deposición. Póngase en contacto con nosotros para obtener recomendaciones detalladas sobre la gestión térmica.

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País*

España

    Purity

    99.9%

    • 99.9%
    • 99.5%
    • 99.99%
    • 99.999%
    • Other
    Diameter

    2''

    • 2''
    • 3''
    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • Otros
    • Other
    Thickness

    0,25''

    • 0,25''
    • 0,125''
    • Todos
    • Other
    Bonding

    • No
    • Other

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