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CM18635 Placa de óxido de titanio (TiO₂) (N.º CAS: 13463-67-7)

Catálogo No. CM18635
Fórmula química TiO₂
Formulario Plato

La placa de óxido de titanio (TiO₂) es un material cerámico de alta densidad y térmicamente estable que se utiliza principalmente en la deposición de películas finas y en recubrimientos ópticos. SAM procesa este material para lograr una alta uniformidad composicional y una densidad mínima de defectos. Ofrecemos mecanizado a medida de estas placas para adaptarlas a las configuraciones dimensionales exactas de diversos equipos de procesamiento.

Productos relacionados: Placa de boruro de titanio, pastillas de dióxido de titanio (TiO₂), lámina cerámica de dióxido de titanio

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Titanium Oxide Plate TiO2 Plate (CAS No.: 13463-67-7)
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Personalizado
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Placa

FAQ

¿Cómo influye la composición de fases (rutilo frente a anatasa) de una placa de TiO₂ en la deposición física de vapor?

La fase rutilo del TiO₂ presenta una mayor estabilidad termodinámica y densidad en comparación con la fase anatasa. Mediante la pulverización catódica de una placa de TiO₂ con predominio de la fase rutilo se obtienen películas con un alto índice de refracción y altas constantes dieléctricas, características esenciales para los recubrimientos ópticos y los dispositivos microelectrónicos.

¿Qué importancia tiene la densidad del blanco a la hora de realizar el pulverizado catódico de placas de óxido de titanio?

Una alta densidad del blanco minimiza la generación de partículas y la formación de microarcos durante la deposición de películas finas. Las placas de baja densidad suelen contener microvacíos que atrapan gas, lo que provoca descargas localizadas. Las placas totalmente densas mantienen unas velocidades de deposición estables, un espesor uniforme de la película y una reproducibilidad estequiométrica.

¿Qué medidas de gestión térmica evitan que las placas de óxido de titanio se agrieten durante el proceso de pulverización catódica?

El óxido de titanio tiene una baja conductividad térmica, lo que lo hace susceptible a sufrir choques térmicos cuando se somete a potencias elevadas. El uso de indio unido a una placa de soporte de cobre facilita la disipación térmica. Los operadores también deben aplicar un aumento gradual de la potencia (por ejemplo, <= 0,5 W/cm² por minuto) y mantener una refrigeración por agua eficaz.

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