AC5592 Mandril electrostático (Al2O3)

Descripción del mandril electrostático:

El mandril electrostático(ESC) es un componente crucial utilizado en equipos de fabricación de semiconductores, especialmente en procesos de grabado por plasma, deposición química en fase vapor (CVD) y deposición física en fase vapor (PVD). Sirve para sujetar y soltar de forma segura obleas o sustratos semiconductores durante el procesamiento. El ESC funciona basándose en la fuerza electrostática; cuando se aplica un voltaje, genera un campo electrostático que sujeta la oblea en su sitio sin contacto físico, proporcionando un enfriamiento y calentamiento uniformes de la oblea, así como una excelente planitud y una contaminación mínima de la cara posterior.

El mandril electrostático (ESC) fabricado con Al2O3, u óxido de aluminio, es un dispositivo utilizado en los equipos de fabricación de semiconductores para sujetar y soltar las obleas semiconductoras de forma segura durante el procesamiento. El óxido de aluminio es muy apreciado por sus excelentes propiedades de aislamiento eléctrico, conductividad térmica y estabilidad química. En el contexto de un ESC, el Al2O3 sirve principalmente como material dieléctrico que facilita la sujeción electrostática de las obleas semiconductoras.

Especificaciones del mandril electrostático:

Aplicaciones del mandril electrostático

• Grabado y limpieza por plasma: Sujeción segura de obleas durante procesos de grabado, en los que se requiere una eliminación precisa del material.
• Deposición de películas finas: Asegurar que las obleas permanezcan fijas y a temperaturas controladas durante la deposición de capas metálicas, dieléctricas y semiconductoras mediante técnicas de CVD o PVD.
• Fotolitografía: Aunque menos comunes, pueden utilizarse para sujetar obleas durante el proceso de litografía, en el que los patrones se transfieren a la superficie de la oblea.

Embalaje del mandril electrostático

Nuestro mandril electrostático se manipula cuidadosamente durante el almacenamiento y el transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.