1200C Horno tubular de tres zonas con bomba de vacío para CVD OTF-1200X-4-III-9HV Descripción
Horno tubular de tres zonas y 1200C con bomba de vacío para CVDOTF-1200X-4-III-9HV es un horno tubular dividido de tres zonas con certificación CE y 4" de diámetro, diseñado para procesos térmicos avanzados. Cuenta con un sistema de bomba de vacío capaz de alcanzar hasta 10^-4 torr y un sistema de control de gas de caudalímetro másico digital de precisión con un panel táctil PLC de 9 canales. Este sistema puede controlar hasta nueve tipos de gases, lo que lo hace ideal para procesos de deposición química en fase vapor (CVD) y difusión.
Horno tubular de 1200C y tres zonas con bomba de vacío para CVD Especificaciones OTF-1200X-4-III-9HV
Hornotubular serie OTF-1200X
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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire.
- Revestimiento de fibra de alúmina de alta pureza para un funcionamiento rentable energéticamente.
- Tres zonas de calentamiento con tres controladores de temperatura independientes.
- El vacío y el sistema de mezcla de gas se encuentran en la parte inferior Carro móvil con 4 ruedas.
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Elementos calefactores
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Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
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Potencia
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7KW, 208-240VAC, Monofásica, 50/60Hz
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Temp. de trabajo
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- Temp. Temp: 1200℃ (1 hr); 1100℃ (continuo)
- Velocidad de calentamiento: ≤20℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud de la zona de calentamiento
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Tres zonas: (880 mm, 35" en total)
Zona 1: 220 mm + Zona 2: 440 mm + Zona 3: 220 mm
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Temp. constante Zona
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20" (500 mm) de longitud
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Temp. Controlador
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- Tres controladores de temperatura digitales de precisión programables con 30 segmentos, que controlan cada zona de calentamiento por separado.
- PID ajustable con función de autoajuste para garantizar la estabilidad de la temperatura dentro de +/ - 1 ℃.
- Protección total en cada controlador para sobretemperatura y rotura del par térmico.
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Tamaño del tubo y materiales
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Tubo de cuarzo fundido
100 mm de diámetro exterior x 92 mm de diámetro interior x 1400 mm
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Termopar
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Tres termopares de tipo K
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Estación de alto vacío
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Accesorios de vacío
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Los accesorios de vacío estándar incluyen
- Dos bridas de vacío de acero inoxidable con conector para bomba KF-25, dos válvulas de aguja y un conector para tubo Swagelok de 1/4".
- Seis piezas de junta tórica de silicona de alta temperatura para uso por debajo de 300°C.
- Se incluyen dos pares de termobloques de alúmina para proteger la brida de la radiación térmica.
- Un fuelle de vacío KF-40.
- Tres abrazaderas rápidas KF-40.
- Dos abrazaderas rápidas KF-25.
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Estructura
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- Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (A) x 700(Al), mm
- Carga máx. Carga máx: 600 Lbs en la parte superior
- Panel de control de la bomba molecular: LCD digital
- Interior Bomba de vacío
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Sensor de vacío
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El sensor de vacío tiene un conector KF-25.
Vacuómetro de alto vacío (rango de medición 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Tensión nominal
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CA 208-240V, monofásica, 50/60Hz
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Panel de control
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Operación con un botón - la bomba de diafragma y la bomba turbomolecular se pondrán en marcha tras pulsar el botón "start".
Velocidad de giro controlada por el sistema - el controlador controlará la velocidad de giro de la turbina hacia arriba y hacia abajo según el nivel de vacío y la tasa de fuga de la cámara de reacción.
Autoprotección - el sistema protegerá la bomba de daños por sobrecalentamiento y sobrecorriente si la tasa de fuga de la cámara de reacción es demasiado alta para alcanzar el alto vacío.
Pantalla LCD: la interfaz de comprobación de parámetros de dos líneas facilita el trabajo.
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Caudal
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Nitrógeno N2 33 L/s
Helio He 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrógeno H2 32 L/s
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Rango de trabajo
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Presión máxima
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10^-5 torr (con horno tubular)
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Entrada de alimentación
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110 V CA o 220 V CA conmutable, 50/60 Hz
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Potencia absorbida
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Duración/Potencia máxima: 100/110 vatios
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Controlador de flujo másico
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Controlador de caudal másico
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9 controladores de caudalímetros másicos de precisión se instalan en el carro móvil inferior con el panel de visualización digital de +/-1,5% de la escala completa.
- Controlador 1: 0~100 SCCM
- Controlador 2: 1~199 SCCM
- Controlador 3: 1~199 SCCM
- Controlador 4: 1~499 SCCM
- Controlador 5-9: el rango de medición se puede personalizar a petición.
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Otras piezas
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Conexión de tubo de gas
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En la brida izquierda hay instalada una conexión de tubo de 1/4" como entrada de gas.
Cada estación MFC tiene cuatro conexiones de tubo Swagelok de 1/4". Y cuatro válvulas on/off para cada ruta de gas. La quinta se utiliza como salida de gas.
El tubo de gas de 1/4" PTFE está incluido en el paquete estándar.
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Información de envío
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Dimensión
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Horno: 550 x 380 x 520mm
Estación MFC: 600 x 600 x 700mm
Estación HV: 600 x 600 x 700mm
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Peso
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Peso neto: 100Kg
Peso de envío: 350 lb (dos palets)
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Garantía
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Un año de garantía limitada (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor pida el reemplazo en los productos relacionados a continuación).
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Conformidad
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Certificado CE/UL/CSA
Seleccione el certificado en la barra de opciones:
Certificado CE & UL/CSA listo para pasar el certificado UL/CSA con coste adicional
Certificado UL - Aprobación UL (UL 61010)
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Advertencia
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Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,12 MPa (presión absoluta)
Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
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Horno tubular de tres zonas 1200C con bomba de vacío para aplicaciones CVD OTF-1200X-4-III-9HV
- Deposición química en fase vapor (CVD):
- Depósito de películas finas y recubrimientos sobre sustratos.
- Utilizado en la producción de dispositivos semiconductores y células fotovoltaicas.
- Facilitan el movimiento de átomos o moléculas dentro de los sólidos.
- Esenciales para el desarrollo y procesamiento de materiales semiconductores.
- Tratamientos térmicos al vacío:
- Permite el recocido, la sinterización y otros tratamientos térmicos en un entorno de vacío controlado.
- Reduce la contaminación y la oxidación, mejorando las propiedades del material.
- Protección con gas de protección:
- Permite realizar experimentos que requieren atmósferas inertes o reductoras.
- Protege las muestras de la oxidación y otras interacciones atmosféricas durante el proceso.
Horno tubular de tres zonas 1200C con bomba de vacío para CVD OTF-1200X-4-III-9HV Embalaje
Nuestro Horno tubular de tres zonas 1200C con bomba de vacío para CVD OTF-1200X-4-III-9HV es cuidadosamente manipulado durante el almacenamiento y transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.
Especificación
Hornotubular serie OTF-1200X
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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire.
- Revestimiento de fibra de alúmina de alta pureza para un funcionamiento energéticamente rentable.
- Tres zonas de calentamiento con tres controladores de temperatura independientes.
- El vacío y el sistema de mezcla de gas se encuentran en la parte inferior Carro móvil con 4 ruedas.
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Elementos calefactores
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Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
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Potencia
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7KW, 208-240VAC, Monofásica, 50/60Hz
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Temp. de trabajo
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- Temp. Temp: 1200℃ (1 hr); 1100℃ (continuo)
- Velocidad de calentamiento: ≤20℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud de la zona de calentamiento
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Tres zonas: (880 mm, 35" en total)
Zona 1: 220 mm + Zona 2: 440 mm + Zona 3: 220 mm
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Temp. constante Zona
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20" (500 mm) de longitud
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Temp. Controlador
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- Tres controladores de temperatura digitales de precisión programables con 30 segmentos, que controlan cada zona de calentamiento por separado.
- PID ajustable con función de autoajuste para garantizar la estabilidad de la temperatura dentro de +/ - 1 ℃.
- Protección total en cada controlador para sobretemperatura y rotura del par térmico.
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Tamaño del tubo y materiales
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Tubo de cuarzo fundido
100 mm de diámetro exterior x 92 mm de diámetro interior x 1400 mm
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Termopar
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Tres termopares de tipo K
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Estación de alto vacío
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Accesorios de vacío
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Los accesorios de vacío estándar incluyen
- Dos bridas de vacío de acero inoxidable con conector para bomba KF-25, dos válvulas de aguja y un conector para tubo Swagelok de 1/4".
- Seis piezas de junta tórica de silicona de alta temperatura para uso por debajo de 300°C.
- Se incluyen dos pares de termobloques de alúmina para proteger la brida de la radiación térmica.
- Un fuelle de vacío KF-40.
- Tres abrazaderas rápidas KF-40.
- Dos abrazaderas rápidas KF-25.
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Estructura
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- Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (A) x 700(Al), mm
- Carga máx. Carga máx: 600 Lbs en la parte superior
- Panel de control de la bomba molecular: LCD digital
- Interior Bomba de vacío
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Sensor de vacío
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El sensor de vacío tiene un conector KF-25.
Vacuómetro de alto vacío (rango de medición 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Tensión nominal
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CA 208-240V, monofásica, 50/60Hz
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Panel de control
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Operación con un botón - la bomba de diafragma y la bomba turbomolecular se pondrán en marcha tras pulsar el botón "start".
Velocidad de giro controlada por el sistema - el controlador controlará la velocidad de giro de la turbina hacia arriba y hacia abajo según el nivel de vacío y la tasa de fuga de la cámara de reacción.
Autoprotección - el sistema protegerá la bomba de daños por sobrecalentamiento y sobrecorriente si la tasa de fuga de la cámara de reacción es demasiado alta para alcanzar el alto vacío.
Pantalla LCD: la interfaz de comprobación de parámetros de dos líneas facilita el trabajo.
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Caudal
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Nitrógeno N2 33 L/s
Helio He 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrógeno H2 32 L/s
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Rango de trabajo
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Presión máxima
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10^-5 torr (con horno tubular)
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Entrada de alimentación
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110 V CA o 220 V CA conmutable, 50/60 Hz
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Potencia absorbida
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Duración/Potencia máxima: 100/110 vatios
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Controlador de flujo másico
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Controlador de caudal másico
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9 controladores de caudalímetros másicos de precisión se instalan en el carro móvil inferior con el panel de visualización digital de +/-1,5% de la escala completa.
- Controlador 1: 0~100 SCCM
- Controlador 2: 1~199 SCCM
- Controlador 3: 1~199 SCCM
- Controlador 4: 1~499 SCCM
- Controlador 5-9: el rango de medición se puede personalizar a petición.
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Otras piezas
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Conexión de tubo de gas
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En la brida izquierda hay instalada una conexión de tubo de 1/4" como entrada de gas.
Cada estación MFC tiene cuatro conexiones de tubo Swagelok de 1/4". Y cuatro válvulas on/off para cada ruta de gas. La quinta se utiliza como salida de gas.
El tubo de gas de 1/4" PTFE está incluido en el paquete estándar.
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Información de envío
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Dimensión
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Horno: 550 x 380 x 520mm
Estación MFC: 600 x 600 x 700mm
Estación HV: 600 x 600 x 700mm
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Peso
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Peso neto: 100Kg
Peso de envío: 350 lb (dos palets)
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Garantía
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Un año de garantía limitada (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor pida el reemplazo en los productos relacionados a continuación).
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Conformidad
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Certificado CE/UL/CSA
Seleccione el certificado en la barra de opciones:
Certificado CE & UL/CSA listo para pasar el certificado UL/CSA con coste adicional
Certificado UL - Aprobación UL (UL 61010)
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Advertencia
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Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,12 MPa (presión absoluta)
Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
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