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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire
- Aislamiento de fibra de alúmina de alta pureza
- Diseño de tapa divisible
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Potencia
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5KW, 208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Temperatura de trabajo
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- Temp. Temp: 1200℃ (1 hr); 1100℃ (continuo)
- Velocidad de calentamiento: ≤20℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud de la zona de calentamiento
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- Tres zonas: (880mm, 35" en total)
Zona 1: 220mm (8.6")
Zona 2: 440mm (17.3")
Zona 3: 220 mm (8,6")
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Zona de temperatura constante
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- Si se ajustan tres zonas a la misma temperatura, la zona de temperatura constante tiene una longitud de 625 mm con una discrepancia de temperatura de ± 1°C.
- Si sólo se utiliza una zona (zona central), la zona de temperatura constante tiene una longitud de 110 mm con una discrepancia de temperatura de ± 1°C.
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Elementos calefactores
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Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
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Temp. Controlador
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- Tres controladores de temperatura de precisión para controlar tres zonas por separado
- Control automático PID con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia
- Protección integrada contra sobrecalentamiento y rotura del termopar
- La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin operario(s)
- Precisión de temperatura de ± 1℃
- Puerto de comunicaciones RS485
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Sensor de vacío y pantalla
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- Medidor de diafragma de capacitancia resistente a la corrosión con cabezal de sensor revestido de cerámica especialmente diseñado para mediciones de vacío con presencia de gases corrosivos
- El medidor se instala en la brida de vacío del horno tubular y proporciona un amplio rango de medida (10^-5 ~ 1000 torr)
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Tubo de cuarzo y bridas de sellado
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- Tubo de cuarzo fundido de 80 mm de diámetro exterior x 72 mm de diámetro interior x 1400 mm incluido.
- Se incluyen bridas de vacío con válvulas y manómetros.
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Brida deslizante con portamuestras
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La corredera para transferir la muestra (accionada manualmente) está disponible como opción con un coste adicional de 1900 $.
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Bridas de sellado al vacío
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- Se incluyen dos bridas de acero inoxidable con manómetro de vacío y válvulas.
- La presión de vacío mínima alcanzada por la bomba mecánica es de 5,5 m-torr. (5,5x10^-3 torr). La presión puede alcanzar 10^-5 torr utilizando una bomba mecánica + molecular.
- La tasa de fuga es < 5 m-torr / min. y la presión de vacío estable después de 24 horas es < 2 torr.
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Monitorización de oxígeno
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Se puede utilizar un sensor de oxígeno para controlar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para evitar o reducir la oxidación.
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Bomba de vacío
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Se incluye una bomba de vacío de paletas rotativas de 120 L/m con una presión de vacío máxima de 10^-2 torr. Se incluye una manguera de acero inoxidable para la conexión al horno tubular.
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Medidor de flujo de gas y medidor de presión
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- Tres caudalímetros de gas (4% de precisión FS) están instalados dentro de la caja móvil para permitir la monitorización de los caudales de gas (tres tipos diferentes de gases en total).
Caudalímetro compacto de lectura directa, 10-100 cc/min.
Caudalímetro compacto de lectura directa, 16-160 cc/min.
Caudalímetro compacto de lectura directa, 25-250 cc/min.
- Cuatro medidores de presión están instalados en el interior del carro móvil, que es capaz de controlar tres tipos de presión de gas que fluye, así como la presión del tanque de mezcla.
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Peso de transporte
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850 libras
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Válvulas
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Cuatro válvulas de acero inoxidable están instaladas en el panel lateral del carro móvil para controlar la mezcla de tres gases de entrada por separado.
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Dimensiones
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- Horno: 1100 X 450 x 670 mm
- Caja móvil inferior 600 x 600 x 597 mm
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Garantía
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Un año de garantía limitada del fabricante.
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Advertencias y notas
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- Para obtener una temperatura exacta en el interior del horno tubular, es necesario calibrar la temperatura por sí mismos.
- Los hornos tubulares con tubos de alúmina están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
- Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
- Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
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Certificado
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- Certificado CE
- Certificación NRTL o CSA disponible con coste adicional.
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