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ST18715: Blanco de Ca₃Mn₂O₇

Catálogo No. ST18715
Composición Ca₃Mn₂O₇
Formulario Blanco sólido para pulverización catódica
Material Óxido de calcio y manganeso (Ca₃Mn₂O₇)
Pureza 99,9 %

El blanco de Ca₃Mn₂O₇ es una fuente cerámica de pulverización catódica que se utiliza para depositar películas delgadas multiferroicas. Stanford Advanced Materials (SAM) fabrica estas dianas de pulverización con una alta densificación mediante prensado en caliente al vacío para minimizar la generación de partículas durante la pulverización por magnetrón, lo que contribuye a la investigación sobre películas delgadas en el ámbito de la ferroelectricidad híbrida impropia y el acoplamiento magnetoeléctrico.

Productos relacionados: Blanco de pulverización de tungstato de circonio ZrW₂O₈, Blanco de pulverización de silicio y níquel, Blanco de pulverización de ferrita de estroncio

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Ca3Mn2O7 Target
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Composición
Ca₃Mn₂O₇
Formulario
Blanco sólido para pulverización catódica
Material
Óxido de calcio y manganeso (Ca₃Mn₂O₇)
Pureza
99,9 %
 
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Objetivo
Pureza
99 %
 
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Forma
Redondo, personalizado
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FAQ

¿Qué parámetros de pulverización catódica se recomiendan para mantener la estequiometría en las películas delgadas de Ca₃Mn₂O₇?

Para mantener la estequiometría del Ca₃Mn₂O₇ es necesario utilizar la técnica de pulverización catódica por magnetrón de radiofrecuencia, debido a la naturaleza cerámica aislante del blanco. Los especialistas recomiendan introducir una mezcla de gases de Ar/O₂ (normalmente en una proporción de 90/10) a baja presión de funcionamiento (por debajo de 1 Pa) y con baja potencia de pulverización (1,5-2,5 W/cm²) para evitar el agrietamiento del blanco y la deficiencia de oxígeno en la película depositada.

¿Cómo afecta la fase ferroeléctrica híbrida impropia del Ca₃Mn₂O₇ a la compatibilidad con el sustrato durante el crecimiento de la película?

Dado que el Ca₃Mn₂O₇ presenta una estructura ortorrómbica a temperatura ambiente (a = 5,23 Å, b = 5,24 Å, c = 19,42 Å), el crecimiento de películas delgadas epitaxiales requiere sustratos con redes pseudocúbicas compatibles. El titanato de estroncio (SrTiO₃) se utiliza con frecuencia como sustrato porque su parámetro de red (~3,905 Å) proporciona un desajuste de red aceptable, lo que estabiliza la distorsión ferroeléctrica.

¿Qué provoca el choque térmico en los blancos de pulverización de Ca₃Mn₂O₇ y cómo se puede mitigar?

El Ca₃Mn₂O₇ sinterizado tiene una baja conductividad térmica y sufre transiciones de fase estructurales (como la transición de ortorrómbica a tetragonal a unos 400 K). Los cambios rápidos de temperatura provocan tensiones térmicas locales, lo que da lugar a la aparición de grietas. Para evitarlo, los usuarios deben limitar las velocidades de calentamiento y enfriamiento a menos de 10 °C/min y utilizar una placa de soporte de cobre con unión de indio para facilitar la disipación térmica.

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    • 0,25''
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