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Stanford Advanced Materials
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ST11178 Blanco rotativo de hierro, cobalto y boro, blanco CoFeB

Catálogo No. ST11178
Composición CoFeB
Pureza ≥99,9%, o personalizado
Formulario Objetivo
Forma Tubular
Dimensiones Personalizado

Los cátodos rotativos de hierro, cobalto y boro, CoFeB, se fabrican con una composición de aleación controlada para garantizar unas características uniformes de pulverización catódica. Stanford Advanced Materials (SAM) emplea un proceso de fundición por arco en vacío seguido de rigurosos análisis SEM y EDS para verificar la homogeneidad del material. El producto se procesa bajo estrictas condiciones metalúrgicas para reducir las inconsistencias microestructurales que pueden afectar a la uniformidad de la película en los procesos de sputtering de baja presión.

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FAQ

¿Qué factores influyen en el comportamiento de sputtering del blanco de CoFeB durante la deposición de película fina?

El comportamiento del sputtering se ve influido por la homogeneidad de la aleación, la densidad del blanco y las características microestructurales. Las variaciones de estos parámetros pueden afectar a la velocidad de deposición y a la uniformidad de la película. Un control de calidad detallado mediante SEM puede ayudar a verificar las características necesarias del material para optimizar el rendimiento.

¿Cómo mejora el diseño giratorio del cátodo su rendimiento en los procesos de sputtering?

El diseño giratorio permite una erosión uniforme en toda la superficie objetivo, reduciendo el sobrecalentamiento localizado y manteniendo una distribución uniforme del material. Esto favorece unas características de deposición uniformes, lo que resulta especialmente importante en aplicaciones que exigen recubrimientos uniformes en grandes sustratos.

¿Cuáles son las prácticas de mantenimiento recomendadas para prolongar la vida útil de los cátodos para sputtering de CoFeB?

Es necesario realizar inspecciones periódicas para detectar el desgaste de la superficie, mantener una refrigeración adecuada durante el sputtering y seguir unas condiciones de almacenamiento controladas. Estas prácticas ayudan a prevenir la contaminación y la degradación física, alargando así la vida operativa del blanco. Si desea más información, póngase en contacto con nosotros.

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