SM18695 Boquilla de cuarzo

Catálogo No.	SM18695
Formulario	Boquilla
Material	Cuarzo

Las boquillas de cuarzo son componentes fundamentales fabricados con sílice fundida de alta pureza para el suministro de fluidos y gases a alta temperatura. Stanford Advanced Materials (SAM) utiliza tecnologías avanzadas de mecanizado y microperforación para fabricar boquillas con tolerancias dimensionales muy ajustadas, geometrías personalizadas y superficies pulidas. Esto garantiza un flujo laminar estable y evita la generación de contaminantes en entornos de procesamiento sensibles.

Productos relacionados: Barquillo de vidrio de cuarzo, Depósito de cuarzo a medida, Vasos de cuarzo a medida

CONSULTA

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Descripción

Especificación

Opiniones

Propiedad	Valor
Fórmula	SiO₂
Forma	Boquilla
Material	Cuarzo fundido (sílice vítrea)
Sinónimos	Boquilla semiconductora de cuarzo, boquilla de sílice fundida
Peso molecular	60,08 g/mol
Pureza	≥99,9 %
Densidad	2,2 g/cm³
Punto de fusión	1715 °C
Coeficiente de expansión térmica	5,5 × 10⁻⁷ / °C (de 20 °C a 320 °C)
Conductividad térmica	1,4 W/(m·K) (a 20 °C)
Temperatura máxima continua	1100 °C
Dureza Vickers	1000 kgf/mm²
Resistencia a la compresión	1150 MPa
Resistividad volumétrica	10¹⁸ ohm·cm (a 25 °C)

Propiedad	Valor
Fórmula	SiO₂
Forma	Boquilla
Material	Cuarzo fundido (sílice vítrea)
Sinónimos	Boquilla semiconductora de cuarzo, boquilla de sílice fundida
Peso molecular	60,08 g/mol
Pureza	≥99,9 %
Densidad	2,2 g/cm³
Punto de fusión	1715 °C
Coeficiente de expansión térmica	5,5 × 10⁻⁷ / °C (de 20 °C a 320 °C)
Conductividad térmica	1,4 W/(m·K) (a 20 °C)
Temperatura máxima continua	1100 °C
Dureza Vickers	1000 kgf/mm²
Resistencia a la compresión	1150 MPa
Resistividad volumétrica	10¹⁸ ohm·cm (a 25 °C)

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SM18695 Boquilla de cuarzo

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Formulario

Boquilla

Material

Cuarzo

SM11412 Tarro de ágata para molino de bolas

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Material

Ágata

Dimensiones

50ml/100ml/150ml/250ml/300ml/400ml/500ml/1000ml/2000ml

Forma

Cilíndrico

Formulario

Tarro

SM11687 Ladrillo aislante de diatomita

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Material

Diatomita

Formulario

Ladrillo

SM12589 Polvo de vidrio recubierto de plata

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Material

Polvo de vidrio recubierto de plata

Formulario

Polvo

Tamaño de las partículas

D50: 15, 20, 35, 50 μm

FAQ

¿De qué manera el bajo coeficiente de expansión térmica de las boquillas de cuarzo evita la deriva del proceso en las cámaras de CVD?

El bajo coeficiente de expansión térmica del cuarzo fundido (5,5 × 10⁻⁷ / °C) mantiene estable el diámetro del orificio de la boquilla durante los ciclos térmicos. Esto evita la deriva dimensional durante la deposición química en fase de vapor (CVD) a alta temperatura, lo que permite mantener una velocidad de flujo de gas uniforme y una distribución homogénea de la película sobre la oblea de silicio.

¿Cuál es la causa principal del deterioro de las boquillas de cuarzo en entornos de grabado por plasma y cómo se puede mitigar?

Los compuestos químicos del plasma a base de flúor reaccionan con el dióxido de silicio para formar tetrafluoruro de silicio (SiF₄) volátil, lo que provoca la erosión del orificio de la boquilla con el paso del tiempo. Para mitigar esta degradación, es necesario funcionar con una potencia de polarización menor o elegir variantes de cuarzo de alta pureza con conductos internos pulidos, con el fin de reducir la turbulencia local y el bombardeo iónico.

¿Pueden las boquillas de cuarzo sufrir choques térmicos durante los ciclos de enfriamiento rápido?

No, el cuarzo fundido presenta una resistencia excepcional a los choques térmicos debido a su expansión térmica prácticamente nula. Se puede pasar la boquilla de forma segura de altas temperaturas (más de 1000 °C) al agua sin que se agriete. Sin embargo, el enfriamiento rápido puede provocar tensiones térmicas si la boquilla está unida a metales u otros materiales cerámicos con coeficientes de expansión diferentes.