IF5726 (Descatalogado) 950C Horno CSS y RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

Características

• Una cámara de vacío de 20 pulgadas de diámetro interior construida en acero inoxidable, que alcanza un nivel de vacío de hasta 10^-5 torr utilizando una turbobomba.
• Dos placas calefactoras de infrarrojos (IR) de 12 pulgadas colocadas estratégicamente dentro de la cámara para optimizar la distribución del calor.
• Un controlador de temperatura de precisión Eurotherm que garantiza una precisión de temperatura de ±0,1 °C.
• Un ordenador con pantalla táctil que permite un control exhaustivo de todos los parámetros de procesamiento.

Parámetros básicos

• Temp. Temp. de calentamiento: 950℃
• Máx. Diferencia de temperatura entre los dos calentadores: ≤ 300℃
• Máx. Velocidad de calentamiento: 8℃/s
• Max. Tasa de enfriamiento: <20℃/s

Alimentación

208 - 240VAC, tres fases, 50/60 Hz

60kw

Cámara de vacío

• Dimensiones de la cámara ID 500mm x H 460mm
• Se han incorporado dos ventanas de cuarzo de 60 mm de diámetro para facilitar la observación.
• Se incorpora un deflector deslizante hermético para bloquear la fuente de evaporación en condiciones de alto vacío
• La unidad incluye de serie un vacuómetro digital anticorrosión de precisión que garantiza mediciones precisas del vacío.
• Bomba de vacío opcional: 10-5 torr mediante turbobomba o 10-2 torr mediante bomba mecánica

Calentador y portamuestras

• Dos calentadores IR están situados en la parte superior e inferior de la cámara con separaciones ajustables de 2 - 25 mm.
• Los calentadores son de acero inoxidable con una camisa de agua fría para mantener el aislamiento térmico.
• El soporte circular para obleas de 12 " de diámetro está integrado en el calentador superior para sujetar el sustrato.
• Las placas de grafito se colocan en la parte superior del calentador IR para que el calentamiento sea más uniforme.
• El portamuestras superior es giratorio a una velocidad ajustable de 1 - 10 RPM
• Se incluye un enfriador de agua circulante de 58L/min para enfriar los calentadores

Sistema de control

• Dos controladores de temperatura digitales Eurotherm 3000 con 24 segmentos programables ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior con una precisión de +/- 0,1ºC
• Todas las operaciones, como los perfiles de temperatura, la presión de vacío, la velocidad de giro, la velocidad de rotación y la elevación de la brida se controlan mediante un ordenador con pantalla táctil a través de un PLC.
• El ordenador puede mostrar los perfiles de temperatura y vacío y poner en marcha 10 programas preestablecidos de procesamiento

Peso neto

~500 kg

Dimensiones

L 1450 X An 1250 X Al 2100 mm

Garantía

• Un año de garantía limitada con soporte de por vida.
• ATENCIÓN: Los daños causados por el uso de gases corrosivos y ácidos no están cubiertos por la garantía limitada de un año de SAM.

Certificado

• Certificado CE
• Certificación NRTL o CSA disponible con coste adicional.