Descripción del bote de grafito PECVD
El barco degrafito PECVD es uno de los portadores de obleas de silicio normales en la producción del proceso de revestimiento. Tiene muchas obleas de barco con un cierto intervalo en la estructura, y hay un espacio muy estrecho entre dos obleas de barco adyacentes, y las obleas de silicio se colocan a ambos lados de la puerta vacía. Como el grafito presenta una buena conductividad y conductividad térmica, se aplica una tensión alterna entre dos barquillas adyacentes para formar electrodos positivos y negativos. Cuando hay una cierta presión de aire y gas en la cámara, se produce una descarga luminiscente entre las dos barcas. La descarga luminosa puede descomponer el gas SiH4 y NH3 en el espacio, formar iones Si y N, y combinarse para formar moléculas SiNx Se deposita sobre la superficie de la oblea de silicio para lograr el propósito de recubrimiento.
El bote de grafito PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) es un recipiente o soporte especializado hecho de grafito que se utiliza en el proceso PECVD para depositar películas finas sobre diversos sustratos. En el contexto de la fabricación de semiconductores y otras industrias en las que la deposición de películas finas es crítica, estas barcas de grafito sostienen y transportan los sustratos (como obleas de silicio) a través de la cámara de PECVD donde se produce el proceso de deposición.
Especificaciones de la barca de grafito PECVD
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Material
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-
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Grafito PECVD
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Densidad
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g/cm³
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1.87
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Resistencia específica
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μΩm
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13
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Resistencia a la flexión
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MPa
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72
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Contenido de cenizas
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PPM
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4.7
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CTE
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1E-6/℃
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4.7
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Tolerancia de la pieza
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mm
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±0.01
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Expansión térmica
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mm
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≤0.2
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Tamaño del grano
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μm
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7
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Dureza Shore
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HSD
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70
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Aplicaciones de PECVD Graphite Boat
- Fabricación de semiconductores: Las lanchas de grafito se utilizan ampliamente en la fabricación de semiconductores para la deposición de diversos tipos de películas finas, incluidos dieléctricos, conductores y semiconductores.
- Paneles solares: En la producción de células fotovoltaicas, las lanchas de grafito PECVD se utilizan para depositar revestimientos antirreflectantes y otras capas que mejoran la eficiencia de las células solares.
- Optoelectrónica: Para componentes que requieren propiedades ópticas precisas, el PECVD se utiliza para depositar capas con índices de refracción específicos, y las barcas de grafito transportan los sustratos a través de este proceso.
Embalaje de barquillas de grafito PECVD
Nuestras barcas de grafito PECVD se manipulan cuidadosamente durante el almacenamiento y el transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.
