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Estudio del óxido superficial en películas delgadas de hidruro de itrio mediante reflectometría de neutrones

Título Estudio del óxido superficial en películas delgadas de hidruro de itrio mediante reflectometría de neutrones
Autores Trygve Mongstad, Charlotte Platzer-Björkman, Jan Petter Mæhlen, Bjørn C. Hauback, Smagul Zh. Karazhanov, Fabrice Cousin
Revista Revista de Física Aplicada
Fecha 05/18/2012
DOI 10.1063/1.4714517
Introducción El análisis de la composición de las películas que contienen hidrógeno resulta complicado con los métodos estándar. La reflectometría de neutrones, al ser un método no destructivo, resulta especialmente eficaz debido a la considerable longitud de dispersión negativa del hidrógeno. Este estudio muestra su aplicación en el análisis de películas delgadas de hidruro de itrio, donde proporciona un contraste claro entre las películas y el óxido superficial, lo que permite estimar el espesor del óxido y la penetración del oxígeno. Se identificaron capas de óxido de entre 5 y 10 nm en películas de hidruro de itrio sin protección.
Cita Mongstad, T.; Platzer-Björkman, C.; Mæhlen, J. P.; Hauback, B. C.; Karazhanov, S. Z.; Cousin, F. Óxido superficial en películas delgadas de hidruro de itrio estudiado mediante reflectometría de neutrones. Journal of Applied Physics 2012. DOI: 10.1063/1.4714517
Elemento Itrio (Y)
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