¿Cómo limpiar los materiales de deposición transportados en aceite?
Para proteger algunos materiales depositados de la reacción con el aire o el vapor de agua, suelen sumergirse en aceite mineral de baja viscosidad (hidrocarburo) durante su almacenamiento y envío. Antes de instalar estos materiales de composición enviados en aceite en el sistema de vacío, debemos utilizar disolventes para eliminar estos aceites. La elección de los disolventes se basa en la premisa de que no actúen como fuentes de contaminación adicionales para el sistema de vacío o los procesos posteriores de película fina.
Elección del disolvente
Algunos materiales de deposición altamente reactivos pueden reaccionar con determinados disolventes. Por lo tanto, elija siempre el disolvente que sea estrictamente de naturaleza hidrocarbonada.
He aquí algunos disolventes que NO se recomiendan. Es mejor que NO los utilice para eliminar el aceite:
- * No utilice disolventes tipo piridina que contengan nitrógeno.
- * No utilice disolventes que contengan azufre, como el disulfuro de carbono.
- * No utilice ninguno de los numerosos disolventes que contienen cloro, como el tricloroetileno es un ejemplo.
- * No utilice disolventes como alcoholes, cetonas, ésteres, éteres, furanos u otros que contengan oxígeno.
A continuación se recomiendan algunos disolventes. Para minimizar el gasto asociado a los disolventes de hidrocarburos de alta pureza y limpios (sin disolventes), puede utilizar disolventes de grado técnico, como hexano, heptano o isooctano de grado técnico, en los pasos iniciales de limpieza.
NOTA: Los grados de alta pureza de hexano, heptano o iso-octano deben transportarse, almacenarse y utilizarse en recipientes de vidrio. Es importante tener en cuenta que las botellas de plástico de squash no son una opción de recipiente adecuada para los disolventes. Aunque son muy cómodas para almacenar y manipular disolventes, los polímeros de bajo peso molecular del plástico son lixiviados por el disolvente y quedan como residuo cuando éste se evapora. Una vez más, no utilice nunca disolventes almacenados en recipientes de plástico.
Precauciones para la manipulación de disolventes orgánicos
Casi todos los disolventes orgánicos son peligrosos para la salud, así que asegúrese de que
1) NO inhale los vapores del disolvente ni ingiera el líquido del disolvente.
2) NO permita que la piel entre en contacto con el disolvente ni que las salpicaduras de disolvente toquen los ojos
3) NO permita que haya llamas expuestas o calefactores cerca del vapor
Y, tenga en cuenta que toda manipulación de disolventes
1) Debe realizarse en una campana extractora o en una caja de guantes.
2) Debe realizarse únicamente con protectores oculares, delantales y máscaras respiratorias absorbentes adecuados.
3) Debe realizarse únicamente con guantes que hayan sido probados para demostrar que los disolventes utilizados no disuelven los guantes ni penetran a través de ellos.
Entorno requerido
Para retrasar la interacción entre el aire y el material, es mejor limpiar el material en una caja de guantes estanca bajo una ligera presión positiva de argón. Si esto no es posible, asegúrese de que todos los pasos de limpieza se realizan lo más rápidamente posible en una campana extractora o en un área bien ventilada. Esto puede minimizar el tiempo de exposición del material al aire y también reducir el tiempo de exposición del operario a los vapores del disolvente.
Equipo y materiales necesarios
Estos son los materiales de limpieza que necesita
- * Recipientes de vidrio de tamaño adecuado, química y físicamente limpios (vasos de precipitados o placas de Petrie).
- * Pureza técnica d (utilizada en los pasos iniciales de limpieza)
- * Disolventes de hidrocarburos de pureza extremadamente alta (utilizados en los siguientes pasos de limpieza)
- * Pañuelos de papel sin pelusa
- * Pinzas química y físicamente limpias para manipular los materiales.
Procedimiento de limpieza detallado
En primer lugar, hay que preparar no menos de tres vasos de precipitados / placas de Petri, y asegurarse de que se puede rellenar con suficiente disolvente técnico para sumergir completamente el material de deposición. Del mismo modo, prepare un vaso de precipitados / placas de Petri de no menos de tres, con suficiente disolvente de gran pureza en su interior para sumergir completamente el material.
En segundo lugar, saque el material de su envoltorio y limpie rápidamente el exceso de aceite con un pañuelo de papel que no suelte pelusa. A continuación, sumerja inmediatamente el material en vasos de precipitados o placas de Petrie con disolvente técnico (DTS01) y agite el material o el disolvente para favorecer la disolución. (Nota: El tiempo transcurrido entre la extracción del material y su introducción en el disolvente debe ser lo más breve posible, para reducir el tiempo de exposición del material al aire. Además, no intente secar completamente, ya que esto aumenta la exposición al aire y contribuye poco a reducir la contaminación).
En tercer lugar, retire el material del TSD01 y limpie rápidamente el exceso de disolvente con un pañuelo de papel nuevo. A continuación, repita el segundo paso y sumerja inmediatamente el material en TSD02 y remueva el disolvente.
Repita el proceso anterior hasta que el material pase por los 6 vasos de precipitados o placas de Petrie (3 con disolvente técnico y 3 con disolvente de alta pureza).
Cuando se extraiga el material del último vaso de precipitados o placa de Petrie con disolvente de gran pureza (DHS03), transfiéralo inmediatamente a la cámara de vacío que debe prelavarse (y seguir lavándose) con argón. La cámara debe ventilarse siempre con argón.
Cuando el material esté montado en su fuente, detenga el flujo de Ar, cierre las bridas de la cámara y bombee. Si el material de deposición es un blanco de sputter reactivo, como Ca, Ba, Sr, que se oxida rápidamente, realice un presputter de corta duración.
Durante todo el tiempo que el material esté en la cámara, asegúrese de que el argón sigue fluyendo a alta velocidad volumétrica cuando la cámara está abierta, y manténgalo a alto vacío cuando la cámara está cerrada.
