Horno tubular de tres zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Descripción
La estación de trabajo de horno de la serieOTF-1200X-III-HVC incluye un horno tubular de tres zonas de la serie OTF-1200X-III, una estación de control de gas de flujo másico de precisión, una estación de alto vacío y componentes esenciales adicionales. Esta estación de trabajo tiene una temperatura máxima de trabajo de 1200°C y puede alcanzar un nivel de vacío final de 10^-4 torr con el conjunto de sellado suministrado. La estación de control de gas de flujo másico mezcla múltiples tipos de gases e introduce el gas mezclado en un tubo de cuarzo fundido dentro del horno. Es ideal para llevar a cabo experimentos como el depósito químico en fase vapor (CVD), la difusión y otros tratamientos térmicos en condiciones de vacío con protección de gas de protección. El horno también cuenta con una estación de control de gas de flujo másico con pantalla LED digital de 4 canales para una gestión precisa del gas.
1200C Horno tubular de tres zonas para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Especificaciones
Hornotubular serie OTF-1200X
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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire.
- Termostato incorporado para controlar la refrigeración funcionando automáticamente cuando la caja > 55°C.
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Tubo de procesamiento
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- Material: Tubo de cuarzo fundido
- Se incluye un tubo de procesamiento con el horno.
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Potencia
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7KW, 208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Temp. de trabajo
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- Max. Temp: 1200℃ (1 hr); 1100℃ (continua)
- Velocidad de calentamiento: ≤20℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud de la zona de calentamiento
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Zona de calentamiento total: 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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Elementos calefactores
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Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
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Temp. Controlador
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- Tres controladores de temperatura de precisión para controlar tres zonas por separado.
- Control automático PID con segmentos programables de 30 pasos.
- Precisión de temperatura: ±1°C
- Termopar: Tipo K incorporado en el interior del horno
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Sello de vacío
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- Un par de bridas de vacío de acero inoxidable con:
un manómetro mecánico
dos válvulas de aguja
un conector KF-40 para la estación de alto vacío
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Dimensiones
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1100(L) x 450(An) x 670(Al), mm
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Tensión nominal
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208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Estación de alto vacío
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Estructura
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Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (A) x 700(Al), mm
Carga máx. Carga 600 Lbs en la parte superior
Panel de control de la bomba molecular: LCD digital
Interior: Bomba de vacío
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Caudal
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Nitrógeno N2: 33 L/s
Helio He: 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrógeno H2: 32 L/s
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Rango de trabajo
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Presión máxima
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<1E-8 mbar (sin fugas)
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Voltaje y potencia
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110VAC o 220VAC, 110W
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Control de flujo másico de gas
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Estructura
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- Sistema de control de gas de 2-9 canales con panel táctil PLC y software de funcionamiento para PC
- Pantalla LED
- MFC de 4 canales Fabricado en acero inoxidable 316 con el siguiente rango de flujo de gas:
Controlador 1: 0~100SCCM
Controlador 2: 1~199 SCCM
Controlador 3: 1~199 SCCM
Controlador 4: 1~499 SCCM
- 4 Canal de gas pasa a través de un tanque de mezcla de gas: Φ80X120mm
- Dimensión: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
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Potencia
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18W por canal
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Tensión nominal
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AC 208-240V, Monofásico, 50/60Hz
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Envío y garantía
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Dimensiones de envío
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Total tres palets: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
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Peso del envío
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850 libras
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Garantía
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Garantía limitada de un año
(Las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores, no están cubiertas por la garantía; solicite el repuesto en los productos relacionados a continuación).
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Conformidad
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Certificado CE
Certificación NRTL o CSA con coste adicional.
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Advertencia
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Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bar / 3 psi
Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
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Horno tubular de tres zonas de 1200C para aplicaciones CVD OTF-1200X-III-HVC-LD
- Deposición química en fase vapor (CVD):
- Depósito de películas finas y recubrimientos sobre sustratos.
- Utilizado en la producción de dispositivos semiconductores y células fotovoltaicas.
- Facilitan el movimiento de átomos o moléculas dentro de los sólidos.
- Esenciales para el desarrollo y procesamiento de materiales semiconductores.
- Tratamientos térmicos al vacío:
- Permite el recocido, la sinterización y otros tratamientos térmicos en un entorno de vacío controlado.
- Reduce la contaminación y la oxidación, mejorando las propiedades del material.
- Protección con gas de protección:
- Permite realizar experimentos que requieren atmósferas inertes o reductoras.
- Protege las muestras de la oxidación y otras interacciones atmosféricas durante el proceso.
Horno tubular de tres zonas de 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Embalaje
Nuestro Horno tubular de tres zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD es cuidadosamente manipulado durante el almacenamiento y transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.
Especificación
Hornotubular serie OTF-1200X
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Estructura del horno
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- Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire.
- Termostato incorporado para controlar la refrigeración funcionando automáticamente cuando la caja > 55°C.
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Tubo de procesamiento
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- Material: Tubo de cuarzo fundido
- Se incluye un tubo de procesamiento con el horno.
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Potencia
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7KW, 208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Temp. de trabajo
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- Max. Temp: 1200℃ (1 hr); 1100℃ (continua)
- Velocidad de calentamiento: ≤20℃/min
- Precisión de temperatura: ±1,0℃
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Longitud de la zona de calentamiento
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Zona de calentamiento total: 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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Elementos calefactores
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Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
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Temp. Controlador
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- Tres controladores de temperatura de precisión para controlar tres zonas por separado.
- Control automático PID con segmentos programables de 30 pasos.
- Precisión de temperatura: ±1°C
- Termopar: Tipo K incorporado en el interior del horno
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Sello de vacío
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- Un par de bridas de vacío de acero inoxidable con:
un manómetro mecánico
dos válvulas de aguja
un conector KF-40 para la estación de alto vacío
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Dimensiones
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1100(L) x 450(An) x 670(Al), mm
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Tensión nominal
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208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Estación de alto vacío
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Estructura
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Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (A) x 700(Al), mm
Carga máx. Carga 600 Lbs en la parte superior
Panel de control de la bomba molecular: LCD digital
Interior: Bomba de vacío
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Caudal
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Nitrógeno N2: 33 L/s
Helio He: 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrógeno H2: 32 L/s
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Rango de trabajo
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Presión máxima
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<1E-8 mbar (sin fugas)
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Voltaje y potencia
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110VAC o 220VAC, 110W
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Control de flujo másico de gas
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Estructura
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- Sistema de control de gas de 2-9 canales con panel táctil PLC y software de funcionamiento para PC
- Pantalla LED
- MFC de 4 canales Fabricado en acero inoxidable 316 con el siguiente rango de flujo de gas:
Controlador 1: 0~100SCCM
Controlador 2: 1~199 SCCM
Controlador 3: 1~199 SCCM
Controlador 4: 1~499 SCCM
- 4 Canal de gas pasa a través de un tanque de mezcla de gas: Φ80X120mm
- Dimensión: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
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Potencia
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18W por canal
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Tensión nominal
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AC 208-240V, Monofásico, 50/60Hz
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Envío y garantía
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Dimensiones de envío
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Total tres palets: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
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Peso del envío
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850 libras
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Garantía
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Garantía limitada de un año
(Las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores, no están cubiertas por la garantía; solicite el repuesto en los productos relacionados a continuación).
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Conformidad
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Certificado CE
Certificación NRTL o CSA con coste adicional.
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Advertencia
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Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bar / 3 psi
Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
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