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Stanford Advanced Materials
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ST11208 Blanco planar de silicio, blanco Si

Catálogo No. ST11208
Composición Si
Pureza ≥99,99%, o personalizado
Formulario Objetivo
Forma Rectangular
Dimensiones Personalizado

El cátodo planar de silicio, Si Target, es un cátodo para sputtering fabricado a partir de silicio con un acabado superficial planar preciso. Stanford Advanced Materials (SAM) emplea procesos de fabricación controlados que incluyen metrología en línea e inspección de la superficie para controlar la planitud y los niveles de impurezas. Este enfoque minimiza los defectos y garantiza la uniformidad de las propiedades del material, esencial para los procesos de deposición. El producto se beneficia de protocolos detallados de pruebas por lotes que verifican la precisión dimensional antes del envío.

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FAQ

¿Cómo afecta el acabado de la superficie plana del cátodo de silicio al rendimiento del sputtering?

El acabado plano de la superficie garantiza una velocidad de deposición uniforme en todo el sustrato, minimizando así las variaciones de espesor de la película. La uniformidad en el sputtering contribuye directamente a mejorar la reproducibilidad de las propiedades de la película fina.

¿Qué procedimientos de manipulación se recomiendan para evitar la contaminación del blanco de silicio?

Utilice protocolos de sala limpia adecuados, incluida la manipulación antiestática y el uso de guantes. Minimizar la exposición a partículas en suspensión en el aire y a la humedad es fundamental para preservar la integridad de la superficie del cátodo y el rendimiento óptimo del sputtering.

¿De qué manera influye la personalización de las dimensiones objetivo en la integración de los procesos?

La personalización de las dimensiones permite que el cátodo se ajuste a los requisitos específicos del sistema de sputtering, garantizando la compatibilidad con las cámaras de deposición. Esta adaptabilidad facilita una integración más eficaz del proceso y maximiza la uniformidad de la película. Póngase en contacto con nosotros para obtener más información.

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