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Stanford Advanced Materials
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ST11193 Blanco giratorio de indio estaño, blanco InSn

Catálogo No. ST11193
Composición En, Sn
Pureza ≥99,99%, o personalizado
Formulario Objetivo
Forma Tubular
Dimensiones Personalizado

El cátodo rotativo de indio y estaño, InSn Target, es un cátodo para sputtering compuesto de una aleación de indio y estaño, diseñado para procesos de deposición en la fabricación de semiconductores y pantallas planas. Stanford Advanced Materials (SAM) emplea una avanzada mezcla de aleaciones y análisis de superficies mediante fluorescencia de rayos X y perfilometría para reducir la variación de materiales. Un riguroso control de calidad mediante pruebas por lotes y control estadístico de procesos garantiza que la composición y la uniformidad de la superficie cumplan las especificaciones precisas del proceso.

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FAQ

¿Qué ajustes del proceso son necesarios al cambiar a un cátodo para sputtering de InSn?

Los ajustes del proceso pueden incluir la recalibración de la potencia de deposición y los caudales de gas para adaptarse a diferentes rendimientos de pulverización catódica y características térmicas. Los operadores deben evaluar la uniformidad y la adherencia mediante sistemas de control in situ. Póngase en contacto con nosotros para obtener directrices detalladas.

¿Cómo mejora la uniformidad de la deposición el diseño rotacional del blanco?

El mecanismo de rotación promueve una erosión uniforme sobre la superficie objetivo, lo que conduce a un espesor de película consistente sobre el sustrato. La rotación continua minimiza el sobrecalentamiento localizado. Se recomienda a los usuarios que integren este diseño con la optimización estándar de los parámetros del proceso.

¿Pueden las tolerancias en la composición del blanco afectar a las propiedades de la película durante el sputtering?

Sí, ligeras desviaciones en la composición de la aleación pueden influir en la conductividad de la película, la transparencia óptica y la tensión mecánica. Es esencial controlar la composición mediante técnicas de caracterización de materiales para mantener la reproducibilidad del proceso. Póngase en contacto con nosotros para obtener más detalles técnicos.

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