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ST11190 Blanco para sputtering planar de indio, en blanco

Catálogo No. ST11190
Composición En
Pureza ≥99,99%, o personalizado
Formulario Objetivo
Forma Rectangular
Dimensiones Personalizado

El cátodo para sputtering planar de indio In Target es un cátodo para sputtering diseñado para aplicaciones de deposición de películas finas. Fabricado por Stanford Advanced Materials (SAM), este producto se produce bajo estrictos controles de proceso que incluyen inspecciones de microscopía de superficie para verificar la uniformidad. SAM aplica una supervisión detallada del proceso durante la producción para mantener un control dimensional preciso y la consistencia del material, garantizando que el cátodo satisface las rigurosas exigencias de los sistemas de deposición en vacío.

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FAQ

¿Cómo influye el acabado superficial del cátodo de indio en el proceso de sputtering?

El acabado de la superficie afecta directamente a la velocidad de erosión durante el sputtering. Una superficie lisa y plana favorece la deposición uniforme de la película, reduciendo la contaminación por partículas y los defectos de la película. La preparación optimizada de la superficie minimiza la interrupción del proceso y mejora la consistencia de la deposición. Para obtener parámetros detallados, póngase en contacto con nosotros.

¿Qué ajustes de deposición se recomiendan cuando se utiliza un cátodo para sputtering de indio?

Los ajustes recomendados dependen de la configuración de la cámara y del espesor de película deseado. En general, las densidades de potencia bajas con una atmósfera de argón controlada ayudan a conseguir un sputtering estable. Puede ser necesario realizar ajustes en función de la distancia entre el blanco y el sustrato, para garantizar una uniformidad óptima de la película y una tensión térmica mínima.

¿De qué manera afecta la pureza del indio al rendimiento de la película en aplicaciones de semiconductores?

La elevada pureza del indio minimiza los defectos inducidos por las impurezas durante el crecimiento de la película. El resultado son unas propiedades eléctricas mejoradas y una formación de interfaces consistente. Los altos niveles de ensayo reducen los riesgos de contaminación y proporcionan un comportamiento de deposición predecible, esencial para los procesos de semiconductores de precisión.

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