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CY11155 Oblea de silicio recubierta de iridio (Ir)

Catálogo No. CY11155
Material Iridio, Silicio
Pureza Ir: ≥99,9%.
Formulario Sustrato

La oblea de silicio recubierta de iridio (Ir) es un sustrato de silicio con una fina película de iridio aplicada mediante deposición controlada. Stanford Advanced Materials (SAM) emplea la deposición por pulverización catódica y el mapeo de superficie por SEM para el control de calidad, supervisando con precisión el espesor y la uniformidad de la película. Este método minimiza los riesgos de oxidación y contaminación durante los procesos a alta temperatura. El marco técnico de SAM garantiza que cada oblea cumpla las estrictas especificaciones de fabricación para la investigación de semiconductores y el desarrollo de procesos.

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FAQ

¿Cómo influye el revestimiento de iridio en el rendimiento de las obleas a temperaturas elevadas?

La capa de iridio actúa como barrera contra la oxidación y la difusión de metales, protegiendo el sustrato de silicio durante los procesos a alta temperatura. Su deposición controlada minimiza la contaminación, garantizando así que la oblea mantenga su integridad estructural durante los ciclos térmicos.

¿Qué técnica de deposición se utiliza para obtener una capa uniforme de iridio?

El revestimiento de iridio se aplica mediante un método de deposición por pulverización catódica. Esta técnica permite controlar con precisión el grosor y la uniformidad de la película, lo que es fundamental para garantizar la uniformidad de las propiedades del material durante la fabricación de semiconductores.

¿Existen problemas de integración a la hora de incorporar obleas recubiertas de iridio a los procesos estándar de semiconductores?

La integración requiere un control cuidadoso de los parámetros de deposición y de los pasos de limpieza posteriores. No obstante, el revestimiento está diseñado para ser compatible con los procesos convencionales de fabricación de CMOS, aunque se recomienda verificar periódicamente la uniformidad de la película mediante SEM.

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