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Nuevos precursores volátiles de tántalo imido con ligandos carboxamida

Título Nuevos precursores volátiles de tántalo imido con ligandos carboxamida
Autores Jeong Min Hwang, Sung Kwang Lee, Sunyoung Shin, Ji-Seoung Jeong, Hae Sun Kim, Ji Yeon Ryu, Taeyong Eom, Bo Keun Park, Chang Gyoun Kim, Taek-Mo Chung
Revista ACS Omega
Fecha 09/16/2021
DOI https://doi.org/10.1021/acsomega.1c03659
Introducción Se sintetizaron una serie de complejos Ta(V) t Bu-imido/N-alkoxi carboxamida mediante reacciones de metátesis en las que participaron Ta(N t Bu)Cl3(py)2 y Na(edpa) o Na(mdpa). Los complejos resultantes se caracterizaron mediante diversas técnicas espectroscópicas, revelando una geometría bipiramidal pentagonal distorsionada alrededor del átomo central de Ta. Los complejos demostraron una estabilidad térmica superior, lo que los convierte en precursores potenciales de películas delgadas de óxido de tántalo.
Cita Jeong Min Hwang, Sung Kwang Lee y Sunyoung Shin et al. New Volatile Tantalum Imido Precursors with Carboxamide Ligands. ACS Omega. 2021. Vol. 6(38):24795-24802. DOI: 10.1021/acsomega.1c03659
Elemento Tántalo (Ta)
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