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    • Modelado físico de resonadores superconductores de niobio de alta calidad mediante grabado por haz de iones

    Título Modelado físico de resonadores superconductores de niobio de alta calidad mediante grabado por haz de iones
    Autores Miguel Manzo-Pérez, Moeid Jamalzadeh, Man Nguyen, Christopher Nadeau, Alexander Madden, Iliya Shiravand, Kim Kisslinger, Xiao Tong, Kasra Sardashti, Michael Senatore, Matthew LaHaye, Davood Shahrjerdi
    Revista Cartas de Física Aplicada
    Fecha 09/02/2025
    DOI 10.1063/5.0278956
    Introducción La fabricación de circuitos cuánticos superconductores requiere cada vez más materiales químicamente diversos y estructuras multicapa complejas. Para avanzar en estos desarrollos, son cruciales las técnicas de patronaje de bajo daño y materiales agnósticos compatibles con una amplia gama de materiales. Este estudio examina el grabado con haz de iones de baja energía (IBE) como alternativa viable al grabado reactivo con iones para producir resonadores superconductores de bajas pérdidas, utilizando resonadores de niobio como referencia. Para mitigar la redeposición superficial inducida por el IBE, se introdujo una capa de recubrimiento de aluminio in situ con un tratamiento químico específico. Este método produce resonadores con factores de calidad internos que alcanzan 6 × 105 en el régimen monofotónico a 50 mK, lo que pone de relieve que la EBI es una técnica prometedora para la fabricación de dispositivos superconductores en diversas plataformas de materiales.
    Cita Miguel Manzo-Perez, Moeid Jamalzadeh y Man Nguyen et al. Physical patterning of high-Q superconducting niobium resonators via ion beam etching. Applied Physics Letters. 2025. Vol. 127(9). DOI: 10.1063/5.0278956
    Elemento Niobio (Nb)
    Materiales Metales y aleaciones , Superconductores
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